尼康推出 DSP-100 系統用于面板級封裝，支持 600 毫米面板和 9 倍吞吐量

隨著半導體巨頭們為更大、更高效的芯片設計采用扇出面板級封裝（FOPLP），日本的尼康加入了這場競爭。該公司從 7 月開始接受其新 DSP-100 數字光刻系統的訂單，該系統專為用于先進人工智能芯片封裝的 600 毫米方形面板設計，根據其新聞稿以及來自 TechPowerUp 和 XenoSpectrum 的報道。

尼康預計將在 2026 財年首次交付 DSP-100 設備。正如 TechPowerUp 所提到的，該系統支持由臺積電、英特爾和三星引領的行業轉變——這些公司正試圖擺脫 300 毫米晶圓的限制。 經濟日報此前透露，臺積電計劃于 2027 年開始其 FOPLP 技術的試點生產，初期將使用 300×300 毫米的晶圓——比早期測試中使用的 510×515 毫米格式更小。

雖然臺積電可能最初會跳過更大的 510×515 毫米格式，但尼康的新系統支持在 600×600 毫米的玻璃或樹脂面板上進行曝光，正如 TechPowerUp 所提到的，這將解鎖更大的封裝潛力。

尼康表示，DSP-100 實現了 1.0 微米線距分辨率、±0.3 微米套準精度，并在 510×515 毫米格式下每小時可處理高達 50 個面板。此外，它還支持在高達 600×600 毫米的面板上進行曝光——與 300 毫米晶圓相比，對于 100 毫米芯片封裝，每個基板的產量可提高 9 倍。

此外，該系統提供高精度校正基板翹曲和變形，通過無掩模技術降低生產成本，并利用固態光源最小化維護成本，尼康表示。

三星的進展

另一方面，三星目前提供先進的封裝解決方案，如 I-Cube 2.5D、X-Cube 3D IC 和 2D FOPKG 封裝。對于移動設備和可穿戴設備中的低功耗內存集成，它提供扇出板級和晶圓級封裝平臺。根據 < span id=0>Newsis 的報道，三星已將 PLP 應用于 Galaxy Watch 的 Exynos W920 芯片，據報道還應用于 Pixel 手機的 Google Tensor G4 芯片。

然而，三星的 PLP 應用仍然主要局限于移動芯片和電源管理 IC。行業專家警告說，為了保持競爭力，三星必須將 PLP 技術擴展到人工智能和高性能計算（HPC）應用，報道指出。