中微中標9臺長江存儲蝕刻機 國產閃存用上國產半導體裝備

紫光旗下的長江存儲在2019年9月份正式量產了國內首個64層堆棧的3D閃存，容量256Gb，TLC芯片，2020年長江存儲還會進一步提升產能，年底將達到每月6萬片晶圓的水平，是初期產能的10倍。

擴大產能就意味著要購買更多的半導體生產設備，其中光刻機還只能依賴進口，但是其他設備有望加大國產采購力度。1月2日，上海中微半導體宣布中標了9臺蝕刻機，而2019全年他們中標的也不過13臺。

蝕刻機是芯片制造中的一種設備，與光刻機、MOCVD并稱為三大關鍵性半導體生產設備，它主要用來在芯片上進行微觀雕刻，每個線條和深孔的加工精度都是頭發絲直徑的幾千分之一到上萬分之一，精度控制要求非常高。

比如，16nm工藝的微觀邏輯器件有60多層微觀結構，要經過1000多個工藝步驟，攻克上萬個技術細節才能加工出來。

中微半導體CEO尹志堯形容說：“在米粒上刻字的微雕技藝上，一般能刻200個字已經是極限，而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝，相當于可以在米粒上刻10億個字的水平。”

目前中微半導體的28nm、16nm蝕刻機早已經要進入臺積電的供應鏈，5nm蝕刻機也研發成功了，正在臺積電的5nm產線中測試，這是國產半導體設備為數不多的突破性進展之一。