濟南打造第三代半導體產業高地,加快推進相關項目建設
近期,濟南發布《2025年國民經濟和社會發展計劃》,提出要加快培育產業新動能,打造第三代半導體產業高地,加快推進山東中晶芯源碳化硅單晶和襯底項目、山東天岳碳化硅材料產業化項目建設,加大碳化硅上下游領域布局力度,爭取集成電路關鍵材料和第三代半導體項目獲得國家支持。
近年濟南市依托政策扶持、技術創新及產業鏈整合,第三代半導體產業呈現高速發展態勢。濟南寬禁帶半導體產業園匯聚山東天岳、山東晶鎵、比亞迪半導體等龍頭企業,涵蓋材料、芯片、器件、封測的完整產業鏈。
濟南碳化硅領域,以天岳先進、中晶芯源等公司為代表
山東天岳先進科技股份有限公司成立于2010年,是一家專注于碳化硅襯底材料的高科技領軍企業,2022年成功登陸A股科創板。目前該公司已掌握世界最大尺寸12英寸碳化硅襯底的生產技術。在SEMICON China2025展會上,天岳先進全方位展示了6/8/12英寸碳化硅襯底產品矩陣,包括12英寸高純半絕緣型碳化硅襯底、12英寸導電p型及12英寸導電n型碳化硅襯底。
source:天岳先進
天岳先進在p型重摻雜、大尺寸碳化硅襯底制備等關鍵技術上已取得系列突破,并穩固掌握晶體生長、缺陷控制、加工檢測及部件自制等全技術鏈條。
山東中晶芯源半導體科技有限公司成立于2023年05月19日,注冊地位于山東省濟南市歷城區彩石街道虎山路889號,該公司專注于碳化硅(SiC)單晶襯底材料的研發、生產和銷售,其技術來源于山東大學晶體材料國家重點實驗室,擁有20多年的碳化硅單晶襯底開發經驗。
該公司與山東大學建立了全方位的產學研合作關系,設有山東大學晶體材料國家重點實驗室產業化基地、山東大學研究生聯合培養基地和山東大學-中晶芯源碳化硅半導體聯合實驗室。
氮化鎵領域,以山東晶鎵等公司為代表
山東晶鎵半導體科技有限公司成立于2023年8月,主要從事氮化鎵(GaN)自支撐單晶襯底的研發、生產和銷售。
今年4月, 媒體報道山東大學與山東晶鎵半導體有限公司在4英寸高質量GaN單晶襯底制備方面取得的重大突破:結合多孔襯底技術和應力調控策略成功獲得了低應力、高質量的4英寸GaN單晶襯底。該4英寸GaN襯底在尺寸、晶體質量(FWHM平均值為57.91″,位錯密度為~9.6x105cm-2)、應力均一性和表面質量方面(無損傷、Ra<0.2 nm)均表現優異,達到國際先進水平,為高功率、高頻器件的批量制備奠定了基礎。
source:晶鎵半導體(圖為GaN襯底測試結果)
展望未來,隨著產業鏈完善和技術迭代,濟南有望成為全國第三代半導體產業的核心增長極,為國內半導體產業自主可控貢獻力量。
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