半導體業 重視EHS管理體系成趨勢

　　如果半導體、面板、印刷電路板等企業對環境保護、工業安全缺乏足夠重視，各家生產線所產生的廢棄物將對外圍自然環境造成難以挽回的負面影響，工業安全意外也將在自家廠房內頻繁發生。這正是EHS(環境、健康、安全)管理體系日漸受到相關企業重視的主要原因。

　　創新打造綠色產業鏈

　　半導體制程極為繁復，多達數百道工序，每個步驟的制程設備若在設計時，便考慮到能源和原料節省，以及減少排放的廢料，將會比起產生出廢氣和廢水后再處理，更能提高環保效率。這也是為什么需要產業鏈上下游整體共同進行規劃，從生產兼顧環保，走向綠色制程，提高綠色競爭力。記者采訪中發現，作為國內半導體制造業巨頭之一，中芯國際在打造綠色產業鏈方面做出了許多有益的嘗試，將環境保護和安全延伸到設備設計和制程規劃階段，同時對供應鏈也設立同等環境質量安全標準，比如北京廠B2FAB的整個建設都遵循LEED認證過程。

　　中芯國際還一直致力于通過創新手段來促進節能環保及清潔生產。在半導體生產企業中，制冷機系統大多采用敞開式運行，產生了大量的余熱。而由于芯片生產中，又需要用到純水清洗，需要花費大量的蒸汽來加熱自來水。中芯國際自主研發了一套冰機熱回收系統，在冰機背后設置了一塊類似于擋熱板的裝置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來加熱自來水。這套裝置能將自來水從10℃加熱到22℃，每年可節省市政蒸汽2.32萬噸，折合標煤1994噸。該技術已經獲得國家專利。

　　中芯國際十分重視生產工業安全，公司ESH部門制定并實施了“SMIC環境保護暨安全衛生政策”，強調“預防環境污染、善用資源能源、保護人力資源和防范事故損失”，并通過廠區責任和評分制使中芯國際在過去的3年里百人可記錄工傷率持續降低。在2013年，百人可記錄工傷率降低到0.01，已經低于同行業的最高標準。

　　重視EHS成趨勢

　　重視EHS管理體系是半導體產業的未來趨勢。中芯國際CEO邱慈云對記者表示：“我們在生產和運營中必須時刻把我們的社區、環境、后代考慮進去。我們絕對不會把損害環境和危害安全作為追求利潤的代價。”

　　面對北京水資源嚴重缺乏的現狀，中芯國際在公司籌備初期就將水資源回收與節能等先進的設計理念融于全廠的規劃設計中。根據廠區實際狀況規劃了雨水回收系統，用于收集建筑屋頂與路面的雨水，并將過濾處理后的雨水重新用于綠地的灌溉。中芯國際公司的雨水回收系統于2004年7月投入使用以來，廠區綠地灌溉用水得到節約，截至目前，該系統共收集到9.7萬噸雨水。另外，2012年北京廠通過自然冷卻系統，利用冬天室外冷空氣進行冷熱交換，4個月內共節約電力561萬千瓦時;2013年天津廠節約電力351萬千瓦時。