基于電容檢測芯片的電容檢測系統設計

摘要：針對電容式傳感器研發過程中缺乏有效的微小電容檢測儀器的問題，設計了一種基于電容檢測芯片MS31lO的電容式傳感器檢測系統，給出了系統的硬件設計以及單片機和上位機部分的軟件設計，并對系統的檢測精度進行了測試。結果證明，該系統具有較高的檢測精度。
關鍵詞：電容式傳感器；檢測；MS3110

引言
電容式傳感器一般是將被測量的變化量轉換為電容量的變化。目前，基于這種原理的各種類型的傳感器已在測量加速度、液位、幾何孔徑等方面得到了廣泛的應用。但以電容為變化量的傳感器(尤其是MEMS傳感器)，其電容變化范同往往只有幾個pF，甚至幾個fF。這便對電容檢測的精度提出了很高的要求，尤其是在傳感器的研發過程中，往往需要極高精度的電容檢測設備對傳感器進行測試與調校。但是一直以來國內外都缺乏能夠對微小電容進行實時檢測的專用儀器，普遍的做法是針對所研發的傳感器自行設計、制做專門的電容檢測電路，這無疑增加了傳感器設計的難度與工作量。針對這一問題，我們設計了通用的電容式傳感器檢測系統。該系統能夠對微小電容進行實時檢測，并可以通過上位機實現實時顯示、存儲等功能。

1 總體設計
電容式傳感器的檢測方法主要有：設計專用ASIC芯片；使用分立元件通過電容橋、頻率測量等原理實現測量；使用通用電容檢測芯片將電容轉換為電壓或其他量等。從技術難度、測量精度等多方面考慮，本系統采用集成電容檢測芯片來完成對電容式傳感器的檢測。系統結構框圖如圖1所示。電容檢測芯片選用Irvine Sensor公司的MS3110。MS3110將電容量轉換為電壓量輸出(量程為0～10 pF)。單片機MSP430F149集成的12位A／D轉換器對輸出電壓進行采樣，并通過I／O端口對MS3110內部寄存器進行設置。數據經采樣后通過串口傳送到上位機進行處理、實時顯示、存儲等。上位機由普通微機構成。

2 系統硬件設計
2．1 MS3110簡介及寄存器設置
MS3110是Irvine Sensor公司生產的具有極低噪聲的通用電容檢測芯片。它采用CMOS工藝，工作電壓為+5 V，測量靈敏度為，集成的補償電容等參數均可以通過寄存器控制。其基本測量原理為：對被測電容與參考電容同時以相反時序充放電，通過電流積分、低通濾波、放大等將被測電容與參考電容差值轉換為電壓輸出。MS3110內含一個60位的寄存器和100位的EEPROM。可通過單片機MSP430F149的I／0口對其EEFROM編程，或使MS3110工作在測試狀態直接對寄存器進行編程。通過這些設置可對MS3110內部各個模塊的參數進行精確的調節。
MS3110原理框圖如圖2所示。MS3110主要由電容補償電路、電荷積分電路、低通濾波器以及運算放大器組成。

其中，CSlIN、CS2IN為被檢測電容，CSl、CS2為MS3110內部的可調電容。通過對內部寄存器進行設置，CS1可在O～1．197 pF范圍內調節，CS2可在0～9．709pF范圍內調節。CF為電荷積分器的積分電容，可在O～19．437 pF范圍內調節。以上3個可調節電容的調節步進均為19 fF。低通濾波器的帶寬可在O．5～8 kHz范圍內調節，可調增益GAIN可選擇2或4。