遼沈地區半導體裝備產業強勢崛起

　　半導體裝備制造產業是國民經濟的戰略性和先導性產業，10余年間，在國家增強自主創新能力和振興東北老工業基地等戰略方針的引導下，遼寧半導體裝備制造產業以沈陽為中心實現了從無到有、從小到大、由弱到強的歷史性轉變：建成了國內首個IC裝備控制軟件平臺和IC裝備專業孵化器，攻克了多個制約我國半導體設備的生產工藝和關鍵技術，創造了300余項科研成果，成功研制出6-12英寸等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、勻膠顯影、單片濕法刻蝕和凸點封裝噴涂膠等系列整機設備以及300mm IC生產線自動物料搬運系統、直接驅動真空(機械)手、IC生產線用羅茨干泵等一批關鍵零部件產品，多個產品填補國內空白并成功實現產業化，培育和引進了一批優勢骨干企業。沈陽IC裝備產業園2009年被科技部批準為國家集成電路裝備高新技術產業化基地，成為我國三大半導體裝備產業基地之一。

　　伴隨著遼寧地區裝備制造產業的日趨成熟，遼寧面臨著全球經濟一體化形勢下的更激烈更殘酷的市場競爭。要想進一步促進遼寧裝備制造產業的快速發展，就必須把企業緊密的團結起來，打造產業集群，形成上下游產業鏈，通過資源互補和合作開發實現聯合創新，因此，建立產業技術創新聯盟無疑成為順應時代發展的必然選擇。自去年開展國家技術創新工程試點工作以來，根據科技部批復的《國家技術創新工程遼寧省試點工作方案》任務要求，遼寧省積極推進省級產業技術創新戰略聯盟試點構建工作。目前，遼寧省級聯盟試點總數已達16家，其中，半導體產業聯盟的成立，對半導體產業的發展起到了非常重要的推動作用。

　　2010年12月，在遼寧省委、省政府和遼寧省科技廳的強力推動下，遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟正式成立。中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司、沈陽新松機器人自動化股份有限公司、沈陽芯源微電子設備有限公司、沈陽中科博微自動化技術有限公司、沈陽富創精密設備有限公司、中國科學院沈陽分院、東北大學、沈陽工業大學等19家遼沈地區半導體裝備企業、大學和研究所共同簽署了聯盟協議。

　　一年來，在遼寧省委、省政府的正確領導下，遼寧省科技廳等部門的大力支持下，遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟將以沈陽為中心的遼寧眾多半導體裝備制造企業緊密團結在一起，聯手進行關鍵技術攻關，合力承擔了10項國家科技重大專項"極大規模集成電路制造技術及成套工藝"項目，共同開拓國內外市場，形成了上下游緊密連接的產業鏈條。全國首臺12英寸PECVD設備、TRACK設備，首塊國產光刻設備殷鋼主基板等一批整機設備和關鍵零部件相繼在沈陽出廠。

　　作為新中國裝備制造業發展的搖籃，遼寧在發展裝備制造產業上擁有良好的產業基礎和科技優勢，沈陽擁有高等院校、科研機構近百所，擁有與半導體裝備產業直接相關的國家級工程(技術)研究中心、工程實驗室5個，省級工程(技術)研究中心、重點實驗室7個，在電子、機械等領域更具有傳統優勢，為沈陽的半導體裝備制造產業提供了充沛的人才補給。

　　2004年，沈陽建立了全國第一個IC裝備產業制造基地。2005年，沈陽建設全國惟一的IC裝備專業孵化器，成立了國內首個IC專業精密零部件加工中心，設立了零部件精密加工、檢測及凈化等公共技術服務平臺，為創新研發和產品制造提供公共技術服務和零部件配套服務，也為發展中小企業、培育后備力量打造了良好的發展環境。在全國范圍內，沈陽已經與上海、北京形成各具特色、相互支撐、相互配套的三足鼎立之勢。

　　沈陽中科博微自動化技術有限公司擁有技術水平一流的研發隊伍，其自主研發的" NCS-3000 系列全分布式工業控制系統"曾獲得中國科學院科技進步獎一等獎和國家科技進步獎二等獎。

　　沈陽中科儀公司基于自身在真空技術、精密技術加工等方面的雄厚技術儲備和人才優勢自主研發生產的羅茨干泵產品填補國內空白，達到國內領先、國際先進水平;素有"中國機器人之父"之稱的沈陽新松一直引領機器人產業的發展，建有中國最大的機器人產業基地。

　　在聯盟的帶動下，一批國際先進、國內領先并能打破國外壟斷的關鍵設備在沈陽實現了 "一站式"生產。"創新產品在市場上的競爭力依賴于整個產業鏈的競爭力，我們既要促進聯盟成員縮短研發周期，同時通過聯合采購和共享基礎設施降低成本，集中力量加快產品進入市場，進而促進整個產業健康發展。"遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟理事會秘書長鄭廣文表示。

　　沈陽芯源公司生產的8英寸0.25微米勻膠顯影設備，國產化率達到70%以上，成本降低超過20%，填補了國內空白，整機技術水平達到國際先進水平。使我國勻膠顯影技術提升了3個產品代，與國際先進技術差距縮短了15年。

　　短短一年的時間，遼沈地區的19家企業、大學和科研院所共同見證了遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟的成長及其發揮的重要作用，產學研用合作不斷升級，企業創新能力不斷提升，承擔的國家科技重大專項"極大規模集成電路制造技術及成套工藝"進展順利，產業鏈條更加完善，產業配套更加緊湊，市場空間更加廣闊，遼寧半導體裝備產業呈現出快速崛起之勢。

　　據悉，沈陽市正在研究制定沈陽半導體產業園發展規劃，沈陽市渾南新區副區長裴希巖表示，沈陽半導體產業園是集生產制造、研究開發、人才培養、貿易和技術服務等為一體的，國際先進、國內一流的產業集聚區，是代表國內外半導體技術及產業發展方向的技術創新和產業化示范區，是整合各種資源優勢、參與國際分工、承接先進生產制造技術的試驗區。

　　未來，遼寧半導體裝備制造產業在遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟的推動下，將進一步提升東北老工業基地的裝備制造水平和我國半導體裝備制造產業的自主創新能力，促進我國先進裝備制造業的快速發展，并帶動關聯產業的繁榮興旺，為我國邁入半導體裝備強國做出更大貢獻。