國資委加盟，沈陽集成電路產業再添創新平臺

4月8日，半導體設備廠商拓荊科技發布公告稱，擬攜手沈陽市國資委等共同發起設立集成電路裝備及零部件創新中心。
根據公告，拓荊科技擬與沈陽市國資委及其他產業合作方共同發起設立遼寧省集成電路裝備及零部件創新中心（暫定名，最終名稱以登記部門核準的名稱為準，以下簡稱“創新中心”）。

圖片來源：拓荊科技公告

拓荊科技是國內知名的半導體設備廠商，主要從事高端半導體專用設備的研發、生產、銷售與技術服務，目前已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深寬比溝槽填充CVD等薄膜設備產品系列，該產品系列已廣泛應用于國內集成電路邏輯芯片、存儲芯片等制造產線。此外，拓荊科技還推出了應用于晶圓級三維集成領域的混合鍵合設備產品系列，已實現產業化應用。

對于此次攜手國資委等共同設立創新中心一事，拓荊科技表示，本次創新中心的設立，將充分整合多方優勢資源共同發揮積極作用。一方面，沈陽市國資委發揮統籌協調作用，依托其豐富的資源，幫助創新中心對接投資人，為創新中心的發展提供資金支持并營造良好環境；另一方面，公司與其他產業方憑借在半導體設備領域的突出行業地位和深厚的技術優勢，為創新中心的發展提供有力支撐。創新中心將基于這些資源和優勢的整合，積極響應國家戰略發展規劃，圍繞半導體產業發展趨勢布局前沿技術，進一步推動整機裝備和零部件企業集聚發展，不斷增強產業協同效應和創新能力，助力國家集成電路產業實現高質量發展。

目前，創新中心尚處于籌劃階段，尚需當地行政主管部門批準并進行登記，公司將積極推動創新中心的設立。

遼寧加速集成電路裝備產業推進

2025年是《遼寧省培育壯大集成電路裝備產業集群若干措施的通知》（以下簡稱《若干措施》政策實施的最后一年。

此前，遼寧省政府印發的《若干措施》明確提到，要加強創新平臺建設，對新認定和新批準設立的集成電路裝備整機和關鍵零部件領域國家級和省級重點實驗室、工程研究中心、技術創新中心、產業創新中心、企業技術中心、制造業創新中心等創新平臺按規定給予支持。

當前，遼寧正在加快培育壯大集成電路裝備整機和關鍵零部件產業，并有望在今年進一步加速集成電路裝備產業發展的步伐。沈陽作為遼寧的省會城市，目前已經集聚了拓荊科技、芯源微電子、沈陽可儀、以及富創精密等龍頭企業。今年以來，沈陽在集成電路裝備產業更是大動作不斷。

其中芯源微電子總投資10億元的高端晶圓處理設備產業化項目和拓荊科技總投資20億元的高端半導體設備產業化基地項目于3月相繼開建；富創精密則計劃聯合共同投資人收購浙江鐠芯合計80.81%的股權，從而間接取得新加坡半導體設備零部件公司Compart公司控制權；賀利氏石英沈陽新工廠竣工投產等。據遼寧日報等媒體報道，2025年，沈陽將推進74個集成電路裝備產業項目。

在產業部署過程中，沈陽主要將目標瞄向半導體裝備領域，并且已經形成了以整機和零部件為核心的產業集群。未來，沈陽有望在龍頭企業帶動、重點項目推進以及跨區域合作下，推動集成電路裝備產業發展，進一步助力沈陽打造全國集成電路裝備及零部件重點產業基地。