應用材料公司推出SmartMove系統

　　近日，應用材料公司宣布推出SmartMove系統，這是半導體產業第一個面向非自動化200mm和300mm芯片制造廠的全面硅片管理解決方案。SmartMove系統整合了應用材料公司已經通過生產驗證的ActivityManager產流程自動化軟件和來自Intellion公司的LotTrack技術，后者是一個創新的基于無線電和超聲波頻率的硅片盒跟蹤系統。

　　通過SmartMove技術，客戶的制造執行系統會持續收到硅片盒的確切位置信息，“需要注意”和“下一步去哪里”等信息會被發送到每一個硅片盒的顯示面板上，這樣操作員就不必手動輸入數據，避免了硅片盒的錯誤放置，并降低了周期時間，從而提高了工作效率。