也談芯片生產中的“過程能力指數”分析

圖四  過程能力指數的規格化箱型圖Normalized Box Plot

　　當然，傳統的過程能力指數的具體數值也很重要，我們可以參考“過程能力指數列表”對所有16個質量指標進行定量的評價，其內容包括常用的Cp、Cpk和PPM值。

　　總之，半導體制造業面臨著巨大的質量和成本的挑戰。想象一下，在極其苛刻的潔凈空間內，不到1/2平方英寸芯片范圍里，制作出數百萬個微米量級的元器件平面構造和立體層次……單憑這一點就應當充分重視芯片制造中的過程能力分析。專業質量管理統計分析軟件JMP有機地整合了質量統計理論、數據可視化手段和半導體制造業的行業特 點，將復雜的統計分析用各種簡單易懂的方式展現出來，大大提高了我們分析問題、解決問題的能力，希望有更多的工程技術人員可以從中受益。

　　注：JMP是全球頂尖的統計學軟件集團SAS的業務部門之一，旨在為全球的客戶提供專業的高端六西格瑪統計分析解決方案；

　　JMP軟件是目前最先進的六西格瑪質量管理統計分析軟件，易用、高效、高速，被譽為“六西格瑪時代的統計分析大師”，是全球試驗設計(DOE)方法的領導者。JMP支持對海量數據進行分析，具備卓越的運行速度；他以解決問題為中心，按照解決問題的思路設置菜單（常規統計軟件大都按照統計方法設置菜單）；JMP用交互性圖形及卓越的可視化能力極大地降低統計方法應用的難度。目前，JMP已經在全球擁有超過15萬名用戶，遍布各個行業。在半導體行業，JMP已經成為一種行業標準，正在幫助英特爾、國民半導體、華虹NEC、中芯國際、日立、村田電子等國內外著名企業提升質量管理、優化業務流程和改善產品設計。