ASML澄清與中芯國際交易EUV與DUV光刻機(jī)一字之差大不同

　　近日，中芯國際與ASML達(dá)成12億美元交易購買晶圓生產(chǎn)設(shè)備的消息引發(fā)關(guān)注。針對(duì)雙方此次合作，有媒體報(bào)道稱“除了EUV光刻機(jī)，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)。”但是這一說法很快被ASML官方澄清，該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān)。
　　可能很多網(wǎng)友看到這里有點(diǎn)蒙圈，這繞來繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進(jìn)行一個(gè)小科普，EUV和DUV到底有啥區(qū)別呢？EUV也就是“極深紫外線”的意思，而DUV是“深紫外線”的意思，通過字面就知道EUV看上去就比DUV高級(jí)，實(shí)際上也是如此。

　　ASML澄清與中芯國際交易細(xì)節(jié)

　　一般來講，DUV基本上只能做到25nm，Intel憑借雙工作臺(tái)的模式做到了10nm，但是卻無法達(dá)到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。事實(shí)上EUV光刻機(jī)的出現(xiàn)，確實(shí)是幫助業(yè)界突破7nm制程的一個(gè)關(guān)鍵。
　　當(dāng)年不是傳說已經(jīng)翻車的武漢弘芯曾經(jīng)擁有也是國內(nèi)唯一一臺(tái)可以用于生產(chǎn)7nm芯片的EUV光刻機(jī)嘛，但還沒啟用就拉去銀行抵押貸款了。這一事件曾經(jīng)一度引起業(yè)界轟動(dòng)，并作為人們茶余飯后的談資流傳至今，由此可見7nm EUV光刻機(jī)是多么關(guān)鍵的存在。

　　ASMLEUV光刻機(jī)

　　好了，回到正題。關(guān)于中芯國際和ASML雙方的聲明，到底該如何理解呢？愚鈍的小編思考了半天，大致理解為他們說的其實(shí)是“除了EUV都能”和“僅限現(xiàn)有DUV”的區(qū)別，乍看之下再聯(lián)想到目前的現(xiàn)狀這兩者其實(shí)沒什么區(qū)別，但是ASML的說法更嚴(yán)謹(jǐn)一些。
　　因?yàn)槿绻磥砑夹g(shù)更先進(jìn)了，又出來一個(gè)"FUV"光刻機(jī)呢，那“除了EUV都可以”的說法是存在漏洞的。或者ASML技術(shù)爆發(fā)了，通過DUV技術(shù)就做到了1nm先進(jìn)工藝，所以ASML非常嚴(yán)謹(jǐn)?shù)脑O(shè)立定了兩個(gè)限制條件："該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān)。"

　　中芯國際采購的是DUV光刻機(jī)