7nm大戰在即 買不到EUV光刻機的大陸廠商怎么辦？

　　基于三星10nm制程工藝的驍龍835早已隨著三星S8、小米6等一眾手機面世，而基于臺積電10nm制程工藝的聯發科Helio X30也和魅族Pro 7系列手機一起亮相了。除此之外麒麟970及A11處理器將于今秋和消費者見面，各家產品雖有強有弱但手機芯片的10nm時代已經展開，下一步就是向7nm推進，工藝推動者無疑就是三星和臺積電這兩家已較勁了幾代制程的業者了。

　　對于7nm制程工藝，三星和臺積電兩大晶圓代工領域巨頭都早已入手布局以便爭搶IC設計業者們的訂單。其中三星原定于明年破土動工的韓國華城18號生產線動工時間已被提前到了今年11月，以便在2019年能夠進入7nm制程量產階段。值得注意的是三星華城18號生產線將會架設10多臺極紫外光(EUV)設備。而根據早前的報道，目前臺積電在7nm上已有12個產品設計定案，第一代7nm將在2018年實現量產(一說為年前實現量產)，第二代7nm則會在2019年實現量產，并導入極紫外光技術。

　　不論是三星還是臺積電在7nm上都將引入EUV設備，而這種被視為延續摩爾定律的設備的研發正是因為制程工藝進入10nm后難度驟增，193nm光刻技術不足以應付7nm、5nm的需要，所以寄希望于研發EUV光刻工藝來推動制程進步。

　　7nm制程的進度在一定程度上也是被EUV設備所控制的，而EUV設備卻是被荷蘭半導體設備廠商ASML所控制的。據悉ASML是一家從事半導體設備設計、制造及銷售的企業，于1984年從飛利浦獨立出來，在去年先后宣布收購漢微科及蔡司半導體24.9%股份。這家壟斷了高端光刻機市場的廠商股東中有三家就是我們耳熟能詳的英特爾、臺積電和三星。而據其公布的2017第二季財報顯示，公司該季營收凈額為21億歐元，毛利率為45%。

　　EUV光刻機研發難度非常大因此單臺價格高昂至少要1億多歐元，但這種價值連城的設備還不是有錢就能買到的，如受限于《瓦森納協定》，大陸的廠商就買不到最高端的光刻機設備。此外，由于EUV光刻機生產難度和成本都非常大，導致稱霸了該領域的ASML年產量也只有12臺。不過有報道稱，ASML正在提升生產效率，或能在2018年將產能增加到24臺，2019年達到40臺。

　　對于大力投入集成電路發展的大陸，ASML雖然不能出售最高端的設備，但是也有其他的合作方式。3月份時，與上海微電子裝備(集團)股份有限公司簽署了戰略合作備忘錄;6月份時，宣布與上海集成電路研究開發中心合作，將共同建立一個培訓中心。而國內對于高端光刻機設備的研究也十分重視，由長春光機所牽頭承擔的國家科技重大專項02專項——“極紫外光刻關鍵技術研究”項目已于今年6月在評審專家組的一致同意下通過了項目驗收，這是我國極紫外光刻核心光學技術水平提升的重要一步。