Edwards將展示先進真空技術

　　全球領先的真空設備和服務供應商Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導體技術大會(SEMICON China 2012)。

　　總部位于英國的Edwards為歷史悠久的全球品牌，其真空技術有助于減少污染、能耗和運營成本，涉及行業廣泛，包括半導體、LED、太陽能，以及平板顯示器(flat-panel display，FPD)領域。

　　Edwards的真空產品和尾氣處理系統適用于所有要求減低環境影響的應用，能夠緩減一系列環境威脅，包括來自于半導體生產的酸性和腐蝕性氣體，并且實現總體碳排放為負值。Edwards 通過在一系列創新且經過驗證的真空泵和系統中采用清潔的“綠色”科技，使得客戶能擁有相對較低的設備投資和維護成本。

　　Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones表示：“我們非常榮幸地參加本年度SEMICON China展會。中國的半導體行業正在穩步發展，并且完全堅定地實施尖端技術。Edwards的真空產品和尾氣處理系統在這一發展過程中起著至關重要的作用。我們在展會上所展出的真空泵產品，充分體現了公司在生產極其可靠且具有高成本效益的真空解決方案方面所積累的數十年經驗。”

　　Edwards展出的真空泵產品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁懸浮泵兩個新型號。集成式STP-iXR1606渦輪分子泵設計在性能和易用性方面均樹立新的行業基準。該產品非常適合要求嚴苛的應用，包括CIGS太陽能制造、PVD鍍膜，乃至低壓CVD。

　　此外，Edwards將展示新型Spectra-G 3000尾氣處理系統，以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵，Spectra-G 3000系統是市場領先的環保解決方案，適用于LED制造。隨著LED成為中國十二五規劃的核心焦點，Spectra-G 3000和iXH645能夠為LED制造商提供實際價值。

　　歡迎SEMICON China 2012展會所有參觀者蒞臨Edwards的E1號展館1223號展位，公司代表將現場介紹并演示產品，并探討何種泵和系統適合客戶的應用。