牛尾電機發布支持200mm晶圓三維封裝的曝光裝置

　　牛尾電機宣布，將投產面向硅通孔(Through Silicon Via，TSV)、硅轉接板和凸點等三維封裝技術的曝光裝置“UX4-3Di FFPL200”。作為三維封裝裝置“全球首次支持200mm晶圓”(牛尾電機)。該產品在“SEMICON Taiwan 2011”(2011年9月7～9日，臺灣臺北市)上，作了展板展示，預定2012年度開始銷售。

　　該公司正在開展“UX4”曝光裝置系列業務。該系列采用通用的模塊型平臺，配備全域等倍曝光鏡頭。由此，支持200mm晶圓，實現了高達120張/小時的吞吐量。該公司已投產LED量產用“UX4-LEDs”(參閱本站報道1)和功率半導體制造用“UX4-ECO”。

　　此次的產品配備了適合三維封裝的紅外線定位功能，并且可選配反面定位功能。重疊精度方面，正反面均為±1μm。分辨率虛線寬度、虛線寬度和線間距均為3μm。采用了可實現深焦點深度和高照度的光學系統，因此能夠支持三維封裝所需的厚膜光刻膠。晶圓吸附也采用了自主開發的方式，可支持有曲翹的晶圓和貼合晶圓。今后，牛尾電機將發揮模塊型平臺易于擴展的特性，推進對300mm晶圓的支持。