國產半導體裝備業發展道路光明而曲折

　　目前，我國半導體設備產業最大的特點是低成本。中國半導體設備進入市場有助于降低整個產業的成本，這是國產設備對整個產業發展的貢獻，同時也是國產設備的發展機會。上海微電子裝備公司的封裝光刻機、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機、盛美的清洗設備、中微的12英寸刻蝕機等都是非常有競爭力的設備，很多產品已經走出國門。這些都是最近幾年中國半導體設備產業的亮點。當然這些成績也只是國產設備的初步發展，要真正做到國產高端設備全面進入國內和國際兩個市場還需要付出相當多的努力。

　　客觀地講，中國半導體設備業要獲得大的突破還有很長的路要走。特別是設備與工藝的結合問題，一直是制約國產設備進入大生產線的主要瓶頸之一。設備硬件的改進與工藝軟件上的改進有時是分不開的。國外設備廠商特別是關鍵的、與工藝密切相關的前道設備廠商在工藝上投入巨大，他們一般都建有相應的工藝研發生產線。而中國幾乎沒有擁有自己工藝研發生產線的半導體設備廠商。工藝固化到設備中，我們還有一定的距離。國家重大專項對半導體設備與工藝的重視，對國產裝備業來說是莫大的發展機會。

　　設備業要真正壯大，取決于兩個因素：一是電子工業的基礎，即構成設備的基本部件的水平。目前我國的真空棒、質量流量計、不銹鋼接頭閥門、等離子體源等這幾個基本部件與國外差距太大。雖然我們可以購買，但國產設備的成本優勢就會大打折扣。因此，中國半導體設備產業的發展一定要從基礎入手，從零部件入手。二是要有自己獨到的技術和創新理念，同時設備要與工藝密切結合。“跟蹤”沒有前途，“趕上”也未必能生存，中國半導體設備業只有超越才能發展。

　　半導體設備業的發展，依賴于零部件產業的發展，更依賴于半導體制造企業工藝技術實現由技術跟蹤到技術引領的跨越。理性看待國產裝備業的成績，同時正確分析存在的差距與問題，國產設備才能迎來更加快速和令人欣喜的大發展。