國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)發(fā)展道路光明而曲折

　　目前，我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)最大的特點(diǎn)是低成本。中國半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)入市場有助于降低整個產(chǎn)業(yè)的成本，這是國產(chǎn)設(shè)備對整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展的貢獻(xiàn)，同時也是國產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展機(jī)會。上海微電子裝備公司的封裝光刻機(jī)、北京北方微電子公司的8英寸多晶硅刻蝕機(jī)、盛美的清洗設(shè)備、中微的12英寸刻蝕機(jī)等都是非常有競爭力的設(shè)備，很多產(chǎn)品已經(jīng)走出國門。這些都是最近幾年中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的亮點(diǎn)。當(dāng)然這些成績也只是國產(chǎn)設(shè)備的初步發(fā)展，要真正做到國產(chǎn)高端設(shè)備全面進(jìn)入國內(nèi)和國際兩個市場還需要付出相當(dāng)多的努力。

　　客觀地講，中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)要獲得大的突破還有很長的路要走。特別是設(shè)備與工藝的結(jié)合問題，一直是制約國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線的主要瓶頸之一。設(shè)備硬件的改進(jìn)與工藝軟件上的改進(jìn)有時是分不開的。國外設(shè)備廠商特別是關(guān)鍵的、與工藝密切相關(guān)的前道設(shè)備廠商在工藝上投入巨大，他們一般都建有相應(yīng)的工藝研發(fā)生產(chǎn)線。而中國幾乎沒有擁有自己工藝研發(fā)生產(chǎn)線的半導(dǎo)體設(shè)備廠商。工藝固化到設(shè)備中，我們還有一定的距離。國家重大專項對半導(dǎo)體設(shè)備與工藝的重視，對國產(chǎn)裝備業(yè)來說是莫大的發(fā)展機(jī)會。

　　設(shè)備業(yè)要真正壯大，取決于兩個因素：一是電子工業(yè)的基礎(chǔ)，即構(gòu)成設(shè)備的基本部件的水平。目前我國的真空棒、質(zhì)量流量計、不銹鋼接頭閥門、等離子體源等這幾個基本部件與國外差距太大。雖然我們可以購買，但國產(chǎn)設(shè)備的成本優(yōu)勢就會大打折扣。因此，中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展一定要從基礎(chǔ)入手，從零部件入手。二是要有自己獨(dú)到的技術(shù)和創(chuàng)新理念，同時設(shè)備要與工藝密切結(jié)合。“跟蹤”沒有前途，“趕上”也未必能生存，中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)只有超越才能發(fā)展。

　　半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的發(fā)展，依賴于零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，更依賴于半導(dǎo)體制造企業(yè)工藝技術(shù)實現(xiàn)由技術(shù)跟蹤到技術(shù)引領(lǐng)的跨越。理性看待國產(chǎn)裝備業(yè)的成績，同時正確分析存在的差距與問題，國產(chǎn)設(shè)備才能迎來更加快速和令人欣喜的大發(fā)展。