Imec攜手三井化學，推動EUV碳納米管光罩保護膜商用

12月23日消息，據日本媒體報道，比利時微電子研究中心（imec）攜手日本化工及極紫外光（EUV）光罩保護膜大廠三井化學共同宣布，為了推動針對EUV光刻的碳納米管（CNT）光罩保護膜技術商業化，雙方正式建立策略伙伴關系。

據了解，光罩保護膜是一種薄膜，可保護EUV光罩表面免受空氣中微分子或污染物的影響，這對于 5nm或以下節點制程的先進制程技術的良率表現至關重要。另外，光罩保護膜也是一種需要定期更換的消耗品，而由于 EUV光刻設備的光源波長較短，因此保護膜需要較薄厚度來增加透光率。目前光罩保護膜主要供應商是荷蘭ASML，日本三井化學、信越化學，韓國S&S Tech、FST等。

imec表示，此次合作，三井化學將把imec根據碳納米管所研發的創新光罩保護膜技術，整合至三井化學的光罩保護膜技術，目標是實現能夠全面投產的規格，預計將在2025~2026年導入高功率的極紫外光（EUV）系統。此次簽約于2023 SEMICON Japan日本國際半導體展期間在東京進行。

imec強調，雙方的戰略伙伴關系旨在共同開發曝光薄膜及EUV光罩保護膜，其中將由imec提供技術咨詢與EUV光刻機測試，三井化學進行商用生產。這些光罩護膜被設計用來保護光罩在EUV曝光時免受污染，不僅具備很高的EUV穿透率（≧94%）和極低的EUV反射率，對曝光的影響也能控制到最小，這些都是要讓先進半導體制造達到高良率和高產量所需的關鍵性能。這些碳納米管（CNT）光罩保護膜甚至還能承受超過1kW等級的極紫外光（EUV）輸出功率，有助于發展新一代（高于600W）的極紫外光源技術。將在量產導入EUV光刻技術的廠商對這些性能產生濃厚興趣。因此，此次合作的雙方將攜手開發可供商用的碳納米管（CNT）光罩保護膜技術，以滿足市場需求。

imec先進圖形化制程與材料研究計劃的資深副總Steven Scheer表示：“在協助半導體生態系發展新世代微影技術方面，imec擁有多年經驗。從2015年開始，我們與整個供應鏈的伙伴們建立了合作，為先進的EUV光刻技術開發碳納米管（CNT）光罩保護膜的創新設計。我們有信心在測量、特征化、碳納米管（CNT）薄膜特性和性能方面，我們所掌握的深度知識將能加速三井化學的產品開發。通過合作，我們希望能為新一代EUV光刻技術推動碳納米管（CNT）光罩保護膜的生產。”

imec進一步指出，在此光刻技術發展藍圖下，新型光罩保護膜預計于2025~2026年推出，屆時ASML開發的新一代0.33數值孔徑（NA）光刻系統也將能支持輸出功率超過600W的曝光源。

編輯：芯智訊-林子