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        光刻Top   利用照相復制與化學腐蝕相結合的技術,在工件表面制取精密、微細和復雜薄層圖形的化學加工方法。光刻原理雖然在19世紀初就為人們所知,但長期以來由于缺乏優良的光致抗蝕劑而未得到應用。直到20世紀50年代,...... [查看詳細]

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