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NanoPhotonics向ISMI出貨450mm晶圓檢測設備

作者：時間：2009-02-20 來源：SEMI

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據Semiconductor International網站報道，NanoPhotonics與ISMI簽訂合約，將向ISMI出貨兩臺用于450mm晶圓的缺陷檢測設備。

這兩臺設備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，兩臺設備將和450mm設備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協同測試試驗臺。

本文引用地址：http://www.104case.com/article/91436.htm

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關鍵詞： NanoPhotonics ISMI 晶圓

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