兩岸半導體設備本地化風潮 中微嶄露頭角

　　內地備受矚目的本土設備業者中微(AMEC)借著年度半導體盛會SEMICON Japan發表其首款蝕刻(Etch)及高壓化學氣相沉積(HPCVD)設備，并以臺積電為目標客戶。這次內地「后進」半導體設備業者首次公開問世先進半導體工藝設備，引起業界兩極化看法，不過，無獨有偶，臺灣或內地都正如火如荼推動半導體設備制造的「在地化」進程。

　　中微在SEMICON Japan開展期間對外宣布，推出適用先進半導體工藝65~45納米設備機種，引發半導體業內震撼及廣泛討論。中微指出，這次推出的離子蝕刻機(ion etch)及高壓化學氣相沉積設備較其它市面上設備生產力提升約35%，換句話說，理論上成本也可降低35%，目前2套設備皆已正式出貨，主要以亞太區晶圓廠客戶為主。

　　由于中微在發表之際也引用其目標客戶臺積電資深副總左大川的話指出，未來臺積電將與工藝設備業者維持近緊密的合作關系，并持續降低制造成本、擴大經濟規模效應，也讓外界聯想，中微與臺積電之間的合作關系。事實上，據傳中微也打入中芯國際供貨商之一，而中芯也不諱言分別在北京、天津廠區已采用包括中科信、北方微電子等內地本土設備商所自制的半導體設備方案。

　　中微表示，這2套設備是經過位于內地、日本、韓國、新加坡及臺灣團隊耗費2年半時間共同研發完成，由于是內地設備業者首次對外正式發表，先進工藝65~45納米工藝技術設備，亦引發外界對這家「后進者」是否有足夠相關IP保障的疑慮。由于中微董事長兼執行長尹志堯出身美商應用材料(Applied Materials)，近2年更積極延攬各大設備商人才加入，因此中微還被外界視為未來極具發展潛力的「本土應材」。

　　中微執行長尹志堯表示，半導體市場未來持續朝消費電子轉向，讓芯片價格更為敏感，對許多芯片制造業者來說采用高效能、具成本競爭力的生產設備則更為關鍵。中微目前投資者包括紅點(RedPoint)、華登等知名創投業者等及美商投資銀行高盛(Goldman Sachs)、芯片業者高通(Qualcomm)及三星電子(Samsung Electronics)等重量級半導體業者。

　　不過，對于內地半導體設備業者崛起，外界看法頗為兩極，業者認為，半導體設備市場已趨成熟，后進者未來發展將會受限，但綜觀近年來臺灣、內地設備業者不乏本土業者興起，以臺灣來說，臺積電便積極推動設備及零組件在地化生產，目標2009年設備在地化生產比重拉升至50%;而內地在十一五計劃推動下，推動半導體工藝設備本土化自制也是其產業策略一環。