內地備受矚目的本土設備業者中微(AMEC)借著年度半導體盛會SEMICON Japan發表其首款蝕刻(Etch)及高壓化學氣相沉積(HPCVD)設備,并以臺積電為目標客戶。這次內地「后進」半導體設備業者首次公開問世先進半導體工藝設備,引起業界兩極化看法,不過,無獨有偶,臺灣或內地都正如火如荼推動半導體設備制造的「在地化」進程。
中微在SEMICON Japan開展期間對外宣布,推出適用先進半導體工藝65~45納米設備機種,引發半導體業內震撼及廣泛討論。中微指出,這次推出的離子蝕刻機(ion et