單價(jià)26億元 ASML下一代EUV光刻機(jī)啟動(dòng)：核心部件到貨

荷蘭ASML公司今天發(fā)布了2022年第二季度財(cái)報(bào)，當(dāng)季凈銷售額為54.31億歐元，好于市場(chǎng)預(yù)期的52.6億歐元，上年同期為40.20億歐元，同比增長(zhǎng)35%。

毛利潤(rùn)為26.65億歐元，上一季度為17.31億歐元，上年同期為20.45億歐元;毛利率為49.1%，上一季度為49.0%。凈利潤(rùn)為14.11億歐元，上年同期為10.38億歐元，同比增長(zhǎng)36%。

Q2新增訂單金額為84.61億歐元，其中包括54億歐元的EUV訂單，較上一季度的新增訂單金額69.77億歐元環(huán)比增長(zhǎng)21%。

本季度中，ASML公司出貨了12臺(tái)EUV光刻機(jī)，比Q1季度的3臺(tái)大幅增長(zhǎng)，之前因?yàn)榉N種原因限制了出貨。

值得一提的是，在本季度中，ASML公司下一代的高NA孔徑EUV光刻機(jī)獲得了重大突破，已經(jīng)收到了來(lái)自供應(yīng)商的物鏡、光源及工作臺(tái)，這也是光刻機(jī)的三大核心部件，關(guān)系著光刻機(jī)的正常運(yùn)行。

根據(jù)ASML的消息，相比目前NA孔徑只有0.33的光刻機(jī)，下一代的EUV光刻機(jī)NA孔徑提升到0.55，有望進(jìn)一步提高芯片工藝，是制造2nm及以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備。

高NA孔徑的EUV光刻機(jī)價(jià)格也會(huì)大幅上漲，相比目前單臺(tái)10億元的價(jià)格，下一代光刻機(jī)價(jià)格要暴漲到4億美元，人民幣26億元以上，原型機(jī)預(yù)計(jì)2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出貨。

Intel是第一個(gè)下單新一代EUV光刻機(jī)的，首批4臺(tái)應(yīng)該都是他們的，不過(guò)三星及臺(tái)積電也下單了，后面也會(huì)角逐新一代工藝。