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        “芯”潮澎湃 揭秘集成電路的“廬山真面目”

        作者: 時間:2017-05-31 來源:芯師爺 收藏
        編者按:集成電路在過去五十多年內已經發展成一個上、中、下游完整的產業鏈,專業的分工方式使其成為近代最成功而耀眼的產業,到底集成電路的上、中、下游產業之間是如何分工合作的呢?讓我們一起來見識一下它的“廬山真面目”。

          硅錠切割:橫向切割成圓形的單個硅片,也就是我們常說的晶圓(Wafer)。順便說,這下知道為什么晶圓都是圓形的了吧?

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/201705/359846.htm
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          晶圓:切割出的晶圓經過拋光后變得幾乎完美無瑕,表面甚至可以當鏡子。事實上,Intel自己并不生產這種晶圓,而是從第三方半導體企業那里直接購買成品,然后利用自己的生產線進一步加工,比如45nm HKMG(高K金屬柵極)。值得一提的是,Intel公司創立之初使用的晶圓尺寸只有2英寸/50毫米。

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          光刻膠(Photo Resist):圖中藍色部分就是在晶圓旋轉過程中澆上去的光刻膠液體,類似制作傳統膠片的那種。晶圓旋轉可以讓光刻膠鋪的非常薄、非常平。

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          光刻:光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,變得可溶,期間發生的化學反應類似按下機械相機快門那一刻膠片的變化。掩模上印著預先設計好的電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成微處理器的每一層電路圖案。一般來說,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。

          光刻:由此進入50-200納米尺寸的晶體管級別。一塊晶圓上可以切割出數百個處理器,不過從這里開始把視野縮小到其中一個上,展示如何制作晶體管等部件。晶體管相當于開關,控制著電流的方向。現在的晶體管已經如此之小,一個針頭上就能放下大約3000萬個。

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          溶解光刻膠:光刻過程中曝光在紫外線下的光刻膠被溶解掉,清除后留下的圖案和掩模上的一致。

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          蝕刻:使用化學物質溶解掉暴露出來的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護著不應該蝕刻的部分。

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          清除光刻膠:蝕刻完成后,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設計好的電路圖案。



        關鍵詞: 集成電路 臺積電

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