應用材料公司在線電子束檢視系統加速顯示產品開發

作者/ 金旺 電子產品世界編輯

　　應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統，該系統能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產品推向市場。

　　隨著半導體制程進入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學檢視，如今半導體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前的顯示行業， 我們仍依賴傳統離線SEM，而離線SEM檢視技術現在仍面臨以下不足：

　　1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過程需損壞產品;3)檢視周期長;4)樣本率低;5)信息流失，客戶無法得到完整信息。

　　應用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的電子束檢視系統結合大尺寸真空技術平臺和半導體SEM技術，克服了離線SEM檢視技術的不足，可以低電壓、無損傷、快速地完成檢視的整個流程。“由于離線SEM技術需要對樣品切割、鍍膜等步驟，這不僅損壞了器件，還會大大降低工作效率，對于一個熟練的技術員，一天最多只能檢測20個樣本，而EBR不需要切割玻璃和鍍膜，一個技術員一天可以完成上千個樣本檢測，檢測到的缺陷可以繼續后續制程的處理，觀察該缺陷是否是致命缺陷。同時，EBR系統可以檢測到AOI(Automatic Optic Inspection，自動光學檢測)設備無法檢測到的缺陷，進行缺陷或顆粒成分分析，能夠更精準地找到缺陷根源。”應用材料公司顯示產品事業部良率技術部總經理Peter D. Nunan介紹稱，“對于我們來說，速度是最重要的，現在一個小時可以檢測一百個缺陷，未來十年內我們將不停地加快速度，對于我們的客戶來說，EBR系統將會成為他們應對新技術挑戰，提高產能和產品良率的利器，減少解決難題所需的時間。”

　　EBR檢視技術適用于工藝和缺陷檢測、構成分析、LTPS顆粒結構檢測和CD測量等。其低電壓檢測技術不會損傷產品，同時，EBR檢測設備快速的檢測速度將不斷加速新型顯示器工廠的產能爬坡。(旺)

本文來源于中國科技期刊《電子產品世界》2016年第11期第83頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。