- 作者/ 金旺 電子產品世界編輯 應用材料公司在“北京2016國際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統，該系統能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產品推向市場。 隨著半導體制程進入次微米，上世紀90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學檢視，如今半導體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前的顯示行業， 我們仍依賴傳統離線SEM，而離線SEM檢視技術現在仍面臨以下不足： 1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過程
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應用材料 北京2016國際顯示高峰論壇 EBR 201612
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