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應(yīng)用材料公司在線電子束檢視系統(tǒng)加速顯示產(chǎn)品開(kāi)發(fā)
- 作者/ 金旺 電子產(chǎn)品世界編輯 應(yīng)用材料公司在“北京2016國(guó)際顯示高峰論壇”上展示了他們面向顯示行業(yè)的高分辨率在線電子束檢視(EBR)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能顯著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地將新型平板顯示產(chǎn)品推向市場(chǎng)。 隨著半導(dǎo)體制程進(jìn)入次微米，上世紀(jì)90年代，掃描電子顯微鏡檢視解決方案(SEM)取代了光學(xué)檢視，如今半導(dǎo)體工藝制程的在線SEM檢視率為90%。目前的顯示行業(yè)， 我們?nèi)砸蕾噦鹘y(tǒng)離線SEM，而離線SEM檢視技術(shù)現(xiàn)在仍面臨以下不足： 1)需要鍍金屬/C60鍍膜;2)檢視過(guò)程
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