深度解讀：未來會有足夠的硅晶圓嗎？

　　SOI晶圓市場是值得關注的一個重點。環球晶圓發起這單交易的一個原因就是看中了SOI的市場。

　　從構成上看，一個SOIsubstrates在其隱埋氧化層上面包括了一個超薄的硅層，而絕緣層就抑制了設備的泄漏。

　　SOI晶圓被應用到數字、電源和RF應用。在數字領域，現在已經推進到了一個叫做FD-SOI的平面工藝。

　　對于芯片制造商來說，FD-SOI是他們在塊狀硅上面的一個可替代選擇。當中包括28nm的plannar和FinFET。FD-SOI的存在給產業界未來的路線提供了一個新選擇。當中的領導者是 GlobalFoundries.。

　　但關于SOI，有兩點值得注意，那就是晶圓成本和供應鏈。現在只有幾個SOI晶圓供應商，分別是Shin-Etsu,Soitec, Sumco 和SunEdisonSemi.

　　即使 GlobalWafers-SunEdison的交易最終確定，也不會影響SOI晶圓的供應。我認為關于SOI晶圓的供應量是不需要擔心的，三星的相關人士表示。

　　成本在SOI市場是應該值得關注的。晶圓制造商過去幾年在降低SOI晶圓的成本上做了很多努力。主要的挑戰在設備層的厚薄均勻性和反射率上面，這兩項都在設備層或以下。尤其是厚薄均勻性，對于SOI晶圓來說是最大的挑戰。

　　有人說SOI的成本是最主要的問題，但有些專家并不這樣認為。因為SOI技術在過去幾年得到了很大的提升，例如一個簡單的 STI，就可以消除SOI晶圓的成本差異。

　　三星則認為，尺寸會是SOI晶圓的一個挑戰，隨著工藝進展到FDSOI，三星希望能降低SOI晶圓的substrates成本。

　　但總的看來,SOI晶圓市場還非常小，Polished和epitaxial晶圓依然是市場上的大頭。

　　Polished 晶圓被應用到Memory，這就要求有平滑和干凈平面的超平substrates，而substrates 晶圓責備廣泛應用到Logic和其他市場。

　　Anneal-based晶圓也關注日增，anneal晶圓的制造成本比epi晶圓更低，所以前者的平均成本較后者更低。

　　通常epi晶圓是用但晶圓設備加工，而anneal 晶圓則一次把大約30個拋光晶圓放置在一個分層式熔爐。這是基于一個分層工藝制造的，這樣你就會耗費更少的成本。

　　硅晶圓市場非常關鍵，我們希望他會變得越來越好。