新型功率半導體結構使可持續能源成為可能

這些寬帶隙半導體將成為更新、更清潔技術的基礎，例如，在混合動力汽車行業或太陽能轉換器中。的確，盡管它們僅僅代表了整個半導體市場大約10%的份額，但是功率電子行業的復合增長率（>11%）要高于整個半導體行業（大約7%）。

但是，當新型功率電子技術的成本與現有解決方案不相上下時，它只能作為現有技術的替代者或新技術的催生者來被市場接受。因此，最為重要的是找到能夠提供性能和成本最佳結合點的材料和工藝。氮化鎵（GaN）被證明就是這樣的一種材料（如圖1所示）。

圖1 IMEC的SiN-AlGaN-GaN雙異質結場效應晶體管具有高達1000V的擊穿電壓

在IMEC，我們曾對擊穿電壓超過1000V的硅基GaN開關器件進行了演示，其傳導損耗要比現有最好的Si基功率電子器件低一個數量級。更高的開關頻率還允許我們顯著地減小功率轉換器的尺寸，為功率電子的更高密度集成開啟了非常有趣的前景。另外，GaN具有非常有前途的低功耗前景。

現在，GaN等寬帶隙半導體是通過在昂貴的小直徑襯底（例如，藍寶石和SiC）上外延生長得到的。使用Si作為III族氮化物元件的襯底不僅更便宜，而且具有通過增加晶圓直徑來降低成本的良好前景。

3族氮化物是目前唯一能夠在直徑6英寸的晶圓上生長的寬帶隙半導體，非常有可能在短期內用于更大的晶圓直徑。有人曾在200mm硅晶圓上生長過GaN。

最后一點也不容忽視：如果能夠開發出與硅工藝流程兼容的工藝，那么也可以通過利用硅基技術的經濟規模優勢來降低硅基GaN的成本。這些正是IMEC對硅基GaN技術研究的關鍵推動力。

此外，最近IMEC基于雙異質結FET結構的生長，將高擊穿電壓和低導通電阻結合在一起并實現了器件的E-模式運轉。為了安全起見，應用通常需要E-模式運轉。這些成果使得IMEC極有可能在硅基GaN功率器件市場上獲得巨大機遇。