新聞中心

        EEPW首頁 > EDA/PCB > 設計應用 > 對使用銅絲鍵合的功率MOSFET進行失效分析

        對使用銅絲鍵合的功率MOSFET進行失效分析

        ——
        作者:ArthurChiang DavidLe 時間:2013-07-24 來源:電子產品世界 收藏

          圖12和圖13顯示的是激光開封后露出來的釘架上銅鍵合。電子顯微鏡檢查發現,在的釘架上的鍵合上有裂縫,這可能是導致不正常的高阻值的主要原因。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/147852.htm

          接下來,我們先用機械研磨的方式至的中間位置成一橫切面,檢查和晶片金屬交界面,然后再進行聚離子束精細拋光,去掉研磨表面或有膠著的部分,電子顯微鏡顯示了銅絲和晶片之間的交界面(見圖14和圖15)。

          檢查完和釘架鍵合,我們認為高阻值失效是由釘架銅鍵合中的裂縫引起的。

          案例研究二

          在Vishay高可靠性銅絲鍵合工藝的開發和優化過程中,對確定鍵合工藝參數發揮了重要作用。技術對幫助我們確定銅絲鍵合下面殘留鋁的厚度,并據此得出最理想的鍵合參數。表1顯示的是實驗結果,在實驗中對銅絲鍵合參數進行了調整,覆蓋到一組正常值周圍的一些參數值。

          注意,這些參數的絕對值因鍵合機種而異,數值大小只是具有相對意義。

          我們使用30℃、濃度63%的硝酸,去掉銅絲鍵合,沒有破壞下面的鋁層。然后用聚離子束(FIB)橫切面技術分析,查明在銅絲鍵合下面最薄的剩余鋁層。

          圖16顯示,在Leg A1上,銅鍵合下面剩余鋁的厚度大約是2.06 μm。圖17顯示,在Leg A4上,銅鍵合下面剩余鋁的厚度大約是3.97 μm。我們用剩余鋁的最薄厚度作為過鍵合的安全裕量的指示器,發現減少基本功率能夠大幅降低銅絲過鍵合的風險。我們認為,一組優化的鍵合參數應當提供良好的鍵合完整性,而且不會產生過鍵合。

          參考文獻:
          [1]Song M,Gong G L,Yao J Z, et al.Study of Optimum Bond Pad Metallization Thickness for Copper Wire Bond Process[C].2010 12th Electronics Packaging Technology Conference:597–602.
          [2]Murali S,Srikanth N.Acid Decapsulation of Epoxy Molded IC Packages with Copper Wire Bonds.IEEE Trans. Electron. Packaging Manufacturing,2006,29(3):179-183
          [3]Klein J E,Copeland L.Decapsulatioon of Copper Bonded Encasulated Integrated Circuits Utilizing Laser Ablation and Mixed Acid Chemistry.2010 ISTFA:133-136
          [4]Staller K D.Low Temperature Plasma Decapsulation of Copper-wire-bonded and exposed Copper Metallization Devices.2010 ISTFA:127-132.
          [5]Premkumar J,Kumar B S,Madhu M,et al.Key Factors in Cu Wire Bonding Reliability: Remnant Aluminum and Cu/Al IMC Thickness.2008 10th Electronics Packaging Technology Conference:971 – 975
          [6]Zhang X,Lin X,Chen Y.The Reliability Evaluation of Cu Wire Bonding by Using Focus Ion Beam System.2010 Int’l Conf. on Electronic Packaging Technology & High Density Packaging:1049-1052.

        離子色譜儀相關文章:離子色譜儀原理

        上一頁 1 2 3 下一頁

        評論


        相關推薦

        技術專區

        關閉
        主站蜘蛛池模板: 沾化县| 天津市| 江达县| 治多县| 利辛县| 邹城市| 霞浦县| 卢氏县| 绍兴县| 榆树市| 定日县| 万载县| 阿荣旗| 伽师县| 高要市| 沁源县| 平邑县| 德江县| 马边| 海林市| 南雄市| 滦平县| 盘锦市| 万载县| 巨野县| 马尔康县| 铜川市| 蓝田县| 韩城市| 罗田县| 奉新县| 社旗县| 凤台县| 克拉玛依市| 泰顺县| 江阴市| 宣城市| 萨嘎县| 汝阳县| 甘谷县| 漳州市|