- 摘要：由于銅絲鍵合可以替代金鍵合，價格又便宜，正在被越來越多地應用到微電子元器件當中。目前的情況表明銅是可行的替代品，但是證明其可靠性還需要采用針對銅絲鍵合工藝的新型失效分析(FA)技術。
- 關鍵字：
銅絲鍵合 MOSFET 金鍵合 失效分析 金屬層 201308
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