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        18寸晶圓14奈米研發人員 進駐臺大竹北分部校區

        —— 將使臺灣擁有更卓越領先的國際科技地位
        作者: 時間:2012-05-09 來源:ETtoday 收藏

          臺大土木系「高科技廠房設施研究中心」研發人員將于5月中旬進駐竹北分部校區臺灣半導體產業及相關產業,預期將在3至5年內進入18寸(450mm)之量產及14奈米之制程。這種具前瞻性的大幅發展,不但將提升臺灣在國際間的競爭力,促使臺灣其他產業技術之升級,增益臺灣地區的經濟成長,同時,也將使臺灣擁有更卓越領先的國際科技地位,甚至成為許多國家仿效的基準楷模。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/132224.htm

          由于廠房設施的設計建造,也是半導體制造不可或缺的先決條件之一,為了從廠房設施的角度,協助臺灣半導體產業及相關產業提升到18寸之量產及14奈米之制程,臺灣大學土木系「高科技廠房設施研究中心」,特在臺大竹北分部成立18寸晶圓14奈米研發團隊。首批研發人員將于5月中旬進駐,展開研發實驗工作。

          進駐之18寸晶圓14奈米研發人員,將針對空氣分子污染(AirborneMolecularContamination,AMC)、微振動(Microvibration)、電磁波干擾(Electro-MagneticInterference,EMI)、綠廠房(GreenFab)、廠房資訊模型及模擬(FabInformationModeling,FIM)等等先進關鍵技術深入研究探討。

          臺大竹北分部的18寸晶圓14奈米研發團隊系跨領域的組合,成員將包括來自機械、土木、電機、環工、化工、工業工程、化學、物理、材料、生物,藥劑等等不同院系之教授、學者、專家及博碩士研究生。這個研發團隊將由臺大土木系張陸滿教授負責整合協調。

          張陸滿教授系新竹湖口張六和宗族之子孫。在1974到1977年間服務于工研院,曾負責工研院頭重埔中興院區的規劃監造,并是當年第一批被工研院派赴美國RCA公司取經的30多位人士之一,吸取建廠經驗后,返回協助電子研究中心設計建造臺灣第一座示范工廠。爾后,張教授即赴美深造,并曾先后在美國佛羅里達大學的建筑學院營建系任教2年半及普渡大學土木工程系營建工程管理組任教23年。



        關鍵詞: 晶圓 積體電路

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