屏東地震 臺積奇美電清查南科廠損失
屏東出現6.1級地震,臺南市最高震度達到五級,南科則達四級,半導體與面板產業震程都因為震度超出設計的防護震度、自動當機,奇美電廠區26日疏散員工。在南科設廠的臺積電、聯電、奇美電表示,目前正清查制程延誤及在制品損失,尚無法判斷受影響的程度。
本文引用地址:http://www.104case.com/article/129539.htm南科地震震度已達到機臺設備所設定的自動保護裝置的震度,廠區內的半導體與面板廠商機臺都出現自動斷電,廠商在檢查相關設備、機臺的狀況后,陸續恢復生產,估計將影響一定程度的產量。
以面板廠商而言,廠務人員指出,昨天的震度不致造成災損,敏感機臺如曝光機、濺鍍機等真空設備,若因地震自動啟動保護裝置關機,重新開機只需花約二小時,即可投入生產。但若地震時造成真空備設內有破片、或是機臺的零組件損壞需更換,則要依序完成:降溫、處理、升溫等作業,至少要花上一天的時間,會有制程延誤的損失。
奇美電財務長陳彥松指出,地震引發奇美電南科廠部份機臺啟動保護裝置關機,必需重新啟動,并未造成太大影響。
至于半導體晶圓廠,廠務人員表示,地震若達三級、四級以上,半導體制程設備機臺就會自動啟動保護裝置關機。
臺積電在南科有二座晶圓廠,臺積電處長孫又文表示,地震發生時,南科廠依規定做人員疏散約一小時,返回生產線清查無塵室均未受損。至于生產線上是否有在制晶圓受損尚待進一步評估。
聯電在南科也有12寸廠,聯電財務長劉啟東指出,地震沒有造成重大影響,但部份敏感機臺自動關機,需要重新啟動,無法評論損失。
竹科管理局副局長兼發言人杜啟祥及南科管理局長陳俊偉表示,沒有接獲任何園區事故通報,竹科及南科的水電供應無損,園區正常運作。
至于高雄部分,除了高捷短暫停駛之外,高屏地區各工業區未傳災情。
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