Crossing Automation公司推出增強版Spartan EFEM

　　為大規模半導體設備制造商提供高效節能的前端與后端自動裝置解決方案及工程服務的領先供應商Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)今天宣布，已經提高公司的SpartanTM設備前端模塊(EFEM)的性能，將其每小時的加工能力提高至450張晶圓。改進設計的目的是滿足高通量半導體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專有的晶圓機常壓機器人，改進后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時間內以最快的速度進行晶圓切換，實現100%的工藝設備利用率。

　　“使設備生產能力最大化是設備供應商的核心競爭優勢，同時也為IC制造商們降低設備的擁有成本，”Crossing Automation的產品營銷副總裁May Su表示，“對于那些擁有每小時加工數百片晶圓的生產能力、但卻因現有的常壓機器人技術而無法開足產能的設備來說尤其重要。通過升級Spartan已經生產檢驗的計算晶圓運動路徑的軟件算法，我們現在能夠讓所有能通過商業手段購買到的EFEM發揮出最大產能，同時還能維持Spartan現有的可靠性和清潔度性能。”

　　增強版Spartan EFEM已通過某領先的剝離設備供應商的認證，并表明在現有的EFEM技術的技術基礎上將加工能力提高了20%。此次實際生產驗證Spartan平臺的安裝基數超過1000件，上線時間達99%。