首套EUV光刻機安裝完成，英特爾將在愛爾蘭Fab 34量產Intel 4制程

9月29日消息，英特爾近日宣布，其位于愛爾蘭的Fab 34晶圓廠已經完成了EUV（極紫外光）光刻設備的安裝測試工作，目前已經正常開機，即將開始正式量產Intel 4制程技術。

英特爾表示，將于當地時間9月29日在現場舉行活動，慶祝Intel 4制程技術的量產，公司高層人員也會參與，包括執行長Pat Gelsinger、技術開發總經理Ann Kelleher和營運長Keyvan Esfarjani等。屆時英特爾將介紹如何通過EUV技術達成生產和產品交貨的過程，引領其先進的產品生產，進一步提供人工智能（AI）處理器到個人電腦，再到大型數據中心所使用的各類處理器。

據了解，2022年4月，英特爾Fab 34晶圓廠完成了第一套EUV微影曝光設備的安裝，這是歐洲首座具備EUV光刻技術的晶圓廠。過程中，大約有100多名ASML工程師到了Fab 34晶圓廠協助安裝，同時英特爾從美國派來了工程師，負責培訓Fab 34晶圓廠的員工如何使用EUV微影曝光設備機。之前，英特爾向ASML訂購了多套EUV光刻設備，這其中的第一套就是安裝在Fab 34晶圓廠。

另外，為在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠是于2019年開始動工，在2023年正式投產。英特爾曾表示，愛爾蘭晶圓廠是其全球晶圓廠擴建計劃的一部分，其是為了滿足全球半導體迅速成長的需求，同時也為英特爾的Intel 4制程技術量產鋪路。目前，英特爾計劃以Fab 34晶圓廠的intel 4制程技術來生產Meteor Lake和Granite Rapids等處理器。

編輯：芯智訊-林子