荷蘭正式加入美制裁陣營，限制DUV光刻機出口，外交部提出交涉

前言

繼1月美日荷三方會談后，荷蘭首次正式表態。

當地時間3月8日，荷蘭政府以“國家安全”為由，宣布將對包括“最先進的”深紫外光刻機（DUV）在內的特定半導體制造設備實施新的出口管制，并加入美國對華芯片出口管制的陣營。

據路透社消息，這一決定由荷蘭貿易部長Liesje Schreinemacher在給議會的一封信中宣布，稱限制措施將在夏季之前出臺。

荷蘭貿易部長Liesje Schreinemacher的會議致函

會議致函中還指出“荷蘭認為有必要以最快的速度對這項技術進行監管，因此荷蘭政府將會盡快出臺一份國家管控清單”。

隨后，光刻機巨頭ASML在3月9日上午發布聲明表示，ASML預計必須申請許可證方可出口DUV設備。

ASML強調，新的出口管制措施并不針對所有浸潤式光刻系統，而只涉及所謂“最先進”的浸潤式光刻系統。

截至目前相關企業尚未收到有關“最先進”的確切定義的信息，ASML將其解讀為在資本市場日會議上定義的“關鍵的浸潤式光刻系統”，即TWINSCANNXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。

對于荷蘭這一決定，中國外交部發言人毛寧9日在北京舉行的例行記者會上表示，中方對荷方以行政手段干預限制中荷企業正常經貿往來的行為表示不滿，已向荷方提出交涉。

毛寧強調，希望荷方秉持客觀公正立場和市場原則，尊重契約精神，不濫用出口管制措施，維護國際產業鏈供應鏈穩定和自由開放的國際貿易秩序，維護中荷兩國和雙方企業共同利益。

01

出口管制后，我們還能買到哪些DUV？

根據ASML官網公布的產品信息，ASML在售的浸潤式DUV光刻機主要有三大型號：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

ASML官網公布的在售浸潤式光刻機型號

根據ASML的解讀，其NXT:2000i及之后的浸沒式光刻系統將會受到出口限制。

也就是說，NXT:1980Di仍將可以出口，即國內大量采用NXT:1980Di進行成熟制程制造的晶圓廠將不會受到影響。

但也有內部人士稱，允許出口的NXT:1980Di將被限制部分軟硬件性能。

ASML在官網介紹稱，NXT:1980Di的分辨率可以達到≤38nm，每小時可以生產275片晶圓。與NXT:2000i一樣，這種步進式掃描系統是一種高生產率的雙級浸沒式光刻工具，專為先進節點的300mm晶圓批量生產而設計。

據了解，通過多重曝光，NXT:1980Di依然可以支持7nm左右工藝，如臺積電第一版7nm工藝，但這可能會面臨步驟更復雜、成本更高以及良率損失等問題。鑒于此，目前NXT:1980Di更多還是被用于45nm以下成熟制程的生產。

一位業內人士指出，“可以說NXT:1980Di還能賣，給（國內）后續N+1、N+2工藝留了一口氣。”而彭博社則認為，如果ASML的說法正確，那么荷蘭的新規定可能達不到美國對芯片設備行業施加的限制要求。

此外，據電巢了解，在荷蘭此次擬定的最新出口管制新規之前，國內已有數臺NXT 2050i交付。

不過，還有一點疑慮是，若出口管制規則正式實施，中國此前購買的ASML光刻機，是否還能繼續接受其相應的售后維護與技術支持服務？若答案是否定的，那國內的先進制程芯片制造短期內恐怕不容樂觀。

02

荷蘭傷敵一千自損八百？

此前，2019年ASML最先進的EUV光刻機就已經被禁止向中國銷售，荷蘭的EUV已經失去中國市場。如今，DUV的銷售也將受到極大限制。

對于荷蘭此次出口管制新規的影響，ASML方面回應稱，“預計這些措施不會對我們發布的2023年財務前景，或去年11月投資者日期間宣布的長期展望產生重大影響。”

但事實上，ASML此前對于出口管制的態度并不滿意，其CEO溫寧克曾在1月底公開表示，“全球貿易和出口管制的增加以及對技術主權的推動，可能導致全球貿易、競爭和技術供應鏈發生長期變化，這可能對我們的業務和增長前景產生不利影響。”他還批評道：“不斷升級的貿易緊張局勢破壞了全球芯片生態系統，并警告各國政府不要陷入保護主義。”

溫寧克還表示了自己的擔憂，由于美國去年實施嚴厲的單邊制裁，中國別無選擇，只能打造自己的先進芯片生態系統。

中國市場對于ASML尤為重要，出口管制的實施，無疑會讓荷蘭的企業得不償失。

根ASML此前預測，2023年中國的銷售額將保持在22億歐元左右，占ASML總銷售額的18%。

另外值得一提的是，荷蘭一家規模較小、幾乎與ASML同名的ASM International（ASMI）也將受限。ASMI主要生產用于采用原子層沉積（ALD）技術芯片的晶圓涂層設備。

ASMI首席財務官Paul Verhagen表示，根據目前的估計，限制將影響的產品占中國銷售額的七分之一到四分之一，占整個集團銷售額的3%左右。

總 結

近年來，美國為了將中國半導體制程鎖死在14nm之下，多次向歐洲以及韓國、日本施壓，加入其管制陣營。美日荷三方談判后，荷蘭如今首次披露了相關協議細節，據悉日本稍后也將跟進，公布其相關管制政策。

我國芯片行業發展正面臨著前所未有的挑戰，但對此，我們繼續引用ASML CEO溫寧克的話：“如果他們（中國）不能得到這些機器，他們就會自己研發這些機器。這需要時間，但最終他們會達到目標。”