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        EUV
        
						
                        
        
                        在半導體行業，EUV一般指EUV光刻，即極紫外光刻。

極紫外光刻（英語：Extreme ultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長的光刻技術。

EUV光刻采用波長為10-1......	
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