南科將建再生晶圓廠　最快上半年投產

全球最大半導體設備制造服務業者應用材料18日宣布，全球服務事業群正計劃投入晶圓再生市場，將位于臺南科學園區建造1座再生晶圓廠及硅應用研發中心，預計6月揭幕、隨即投入生產。同時相應于應材正全力發展太陽能薄膜設備市場，應材臺灣也設立事業單位，加強與國內太陽能業者合作。 
 
應用材料企業副總裁余定陸表示，應材正積極跨入綠色能源事業，除自2006年起積極投入太陽能光電市場，將陸續推出薄膜太陽能制造設備，也將投入晶圓再生市場，協助晶圓廠在測試晶圓用量上進一步節約。余定陸分析，薄膜太陽能成本取決于轉換效率，以目前轉換率6%來看，每瓦成本仍在2美元以上，不過，應材是全球唯一以8.5代投入生產薄膜的設備商，未來成本絕對較5代廠還低，同時也把每瓦1美元視為壓低成本的目標。 
 
應材表示，2007年3月才在美國太陽谷設置1.9百萬瓦太陽能發電廠，這是全美在企業研發領域設置的最大太陽能發電裝置，預計2008年完成，屆時將可提供2,330百萬瓦時數的太陽能，相當于1,400戶用電量。余定陸說，太陽能產業未來幾年將具30%年復合成長率，未來也將是應材在半導體、顯示器設備外，最具成長爆發力的事業。  

近期外資券商美國銀行也因應材贏得西班牙T-Solar Global S.A.薄膜太陽能模塊訂單等好消息，將應材評等調升至「買進」，并認為應材內部預估2010年太陽能營收5億美元太過保守，至少將達15~20億美元。  

余定陸指出，除太陽能市場，綠色環保方面，應材在全球服務事業群下也擬投入再生晶圓市場。應材將在臺南科學園區現有廠房，擴充2期工程、建造1座再生晶圓廠及硅應用研發中心，預計最快6月舉行揭幕，上半年即投入生產。由于臺積電、聯電目前都持續擴充南科12吋廠規模，目前已知臺積電共3期、未來可能投入第4期，聯電則有2座12吋廠，因此，就近服務客戶是應材設此廠的最大用意。  

應用材料表示，一般晶圓廠在大量生產時，需要高達3成的監控及測試硅晶圓數量，而生產ASIC的硅晶圓甚至需要4成之多，此外，生產過程中不良或淘汰晶圓也有一定數量，若將這些硅晶圓加以回收，將有助于晶圓廠成本進一步掌控。  

臺積電自2007年起所展開的「龍卷風」成本節縮計劃，其中，硅晶圓回收就是效果相當好的一項目。半導體業者表示，硅晶圓若能妥善回收，對于提供太陽能所需的廢晶圓，也是另一項收入獲利來源。