北京首條MEMS芯片生產線投產

記者近日從經開區獲悉，亦莊企業賽微電子公司控股子公司投資建設的“8英寸MEMS國際代工線建設項目”正式通線投產運行，產能為1萬片/月。這也標志著北京首條商業量產、全球業界最先進的8英寸MEMS芯片生產線進入實際生產階段。據了解，該項目分期建設，最終完全達產后將形成3萬片/月的生產能力。

“大家熟悉的生產線側重二維空間，不斷讓芯片變得更小；而MEMS屬于集成電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片內部結構也縮小至納米量級，格外考驗芯片制造實力。”賽微電子董事長楊云春介紹。微機電系統（MEMS）是指用微機械加工技術制作的包括微傳感器、微致動器、微能源等微機械基本部分，以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。

業內認為，MEMS傳感器作為國際競爭戰略的重要標志性產業，以其技術難度高、特色工藝性強，市場前景廣闊等特點備受世界各國的關注。基于對市場需求前景及國內產業鏈現狀的判斷，賽微電子在經開區、相關基金等多方支持下，于2016年全資收購瑞典Silex。

“這代生產線是復刻了瑞典Silex的生產線，1萬片的產能大概能貢獻約8億元營收，同時對凈利潤也將有積極貢獻。”賽微電子董事、副總兼董秘張阿斌表示。

進入5G時代，下游的人工智能、萬物互聯等對傳感器的需求將迎來井噴式的增長。MEMS傳感器能夠以集成電路的方式來生產，將進一步推動傳感器革命，并大幅降低成本。

“目前這個行業的主要矛盾就是合格產能供應不足，根據對市場需求的判斷，公司計劃在未來繼續擴充的第四條、第五條生產線也會快速跟進，目前在做的定增就是為后面的積極擴產籌集資金。”張阿斌表示。

記者獲悉，新生產線投產后，賽微電子將同時在瑞典和中國兩地擁有8英寸MEMS生產線。經開區方面透露，而北京生產線更是可以提供標準化規模產能，有利于該公司進一步拓展全球市場尤其是亞洲市場，并繼續擴大MEMS業務的競爭優勢。這條生產線還會帶動經開區新一代信息技術產業上下游各方合力攻克自主技術難關。

“投產的北京8英寸MEMS國際代工線對標瑞典Silex的設置，配置、原材料和工藝等一一對應，確保工藝流程及產品生產的一致性。”楊云春說，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業內具備國際領先競爭力的工藝技術和工藝模塊，擁有目前業界最先進的硅通孔絕緣層工藝平臺，具有400余項工藝開發經驗，生產過超過數十萬片晶圓、100多種不同的產品。

經開區相關負責人介紹，經開區作為全國集成電路產業聚集度最高、技術水平最先進的區域之一，現已形成以中芯國際、北方華創為龍頭，包括設計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產業鏈，一批代表企業及研究機構承接了系列國家重大科技專項任務，在關鍵裝備及材料、先進工藝開發及產業化等方面取得一批代表國家最高水平的成果。

數據顯示，1至8月經開區新一代信息技術產業完成產值同比增長11%。在發布的《北京經濟技術開發區關于加快四大主導產業發展的實施意見》中提出，北京經開區還將大力發展集成電路、新型顯示等新興產業，鞏固提升高精尖產業集聚效應，加快實現高精尖核心技術突破，打造具有全球影響力的新一代信息技術產業集群。到2022年，新一代信息技術產值規模達到2000億元。