清華大學院士工作站落戶蚌埠 加強MEMS行業研究應用

　　11月10日上午，在中國MEMS(微機電系統)傳感器暨集成電路產業發展高峰論壇上，清華大學副校長、中科院尤政院士和中國兵器工業第二一四研究所共同為清華大學院士工作站揭牌，至此，清華大學院士工作站首次正式落戶我省蚌埠中國兵器二一四研究所。

　　新安晚報、安徽網、大皖客戶端記者獲悉，此次合作的目的是加強雙方在MEMS相關領域的技術研究和應用，實現研發與產業結合，以國際上同行業先進技術為標桿，創新成果擁有自主知識產權，做到技術水平達國際先進、國內領先，同時培養高素質人才，推動行業整體技術水平提高。

　　院士工作站將開展MEMS技術研發和產業化，進行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設計研究、低應力MEMS制造工藝及工藝一致性研究、低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設計研究、異質材料的低應力高密度集成封裝技術研究、大批量高精度MEMS器件晶圓級測試技術、基于多MEMS傳感器數據的導航定位算法研究在內的多項研究工作，并計劃在相關領域申請多項國家專利，實現MEMS技術的領先地位。

　　清華大學院士工作站的建立不僅利用專家、專業知識為中國兵器工業搭建了技術創新的服務平臺，提升了技術合作的質量和效率，也同時為蚌埠工業技術水平的提升做出了巨大的貢獻，更是強有力地推動了我省及國家科技發展，實現了專家、企業的共贏。