清華大學(xué)院士工作站落戶蚌埠 加強MEMS行業(yè)研究應(yīng)用

　　11月10日上午，在中國MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器暨集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇上，清華大學(xué)副校長、中科院尤政院士和中國兵器工業(yè)第二一四研究所共同為清華大學(xué)院士工作站揭牌，至此，清華大學(xué)院士工作站首次正式落戶我省蚌埠中國兵器二一四研究所。

　　新安晚報、安徽網(wǎng)、大皖客戶端記者獲悉，此次合作的目的是加強雙方在MEMS相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)研究和應(yīng)用，實現(xiàn)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)結(jié)合，以國際上同行業(yè)先進(jìn)技術(shù)為標(biāo)桿，創(chuàng)新成果擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，做到技術(shù)水平達(dá)國際先進(jìn)、國內(nèi)領(lǐng)先，同時培養(yǎng)高素質(zhì)人才，推動行業(yè)整體技術(shù)水平提高。

　　院士工作站將開展MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，進(jìn)行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設(shè)計研究、低應(yīng)力MEMS制造工藝及工藝一致性研究、低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設(shè)計研究、異質(zhì)材料的低應(yīng)力高密度集成封裝技術(shù)研究、大批量高精度MEMS器件晶圓級測試技術(shù)、基于多MEMS傳感器數(shù)據(jù)的導(dǎo)航定位算法研究在內(nèi)的多項研究工作，并計劃在相關(guān)領(lǐng)域申請多項國家專利，實現(xiàn)MEMS技術(shù)的領(lǐng)先地位。

　　清華大學(xué)院士工作站的建立不僅利用專家、專業(yè)知識為中國兵器工業(yè)搭建了技術(shù)創(chuàng)新的服務(wù)平臺，提升了技術(shù)合作的質(zhì)量和效率，也同時為蚌埠工業(yè)技術(shù)水平的提升做出了巨大的貢獻(xiàn)，更是強有力地推動了我省及國家科技發(fā)展，實現(xiàn)了專家、企業(yè)的共贏。