東芝開發半導體設備自動中止與關閉系統

　　東芝公司(ToshibaCorporation)和NipponDennoCo.,Ltd.日前宣布開發一種自動中止與關閉系統，可在發生地震時，關閉半導體生產設備。該系統已從2013年2月起在東芝旗下子公司—東芝巖手電子公司(IwateToshibaElectronics)投入使用。東芝打算進一步完善該系統，并將之推向市場。

　　該系統可檢測到主要的地震波，然后在主沖擊波來襲前的十秒內關閉生產設備。該系統利用了東芝的半導體制造與生產設備知識以及NipponDenno的自動操作控制技術。

　　該系統可同時安全地控制多達20種不同設備的中止與關閉。它可降低地震帶來的損壞風險，減少恢復所需的時間與成本。舉例來說，采用該系統可將平板印刷設備的恢復時間減少一半。

　　東芝將向半導體晶圓廠和其他工業設施銷售該系統，并將根據在應對東日本大地震時所積累的專業知識繼續改善晶圓廠的抗災運轉能力。