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        EDWARDS發布IXL120 面向真空半導體工藝應用

        作者: 時間:2010-07-09 來源:SEMI 收藏

          全球領先的真空設備供應商Edwards近日發布iXL120設備,拓展了其面向工藝的干泵設備產品。iXL120具有專為負載時鐘和其他清洗應用的設計,在同等產品中可達到最快速的抽取速度,同時還具有低能耗、高吞吐量的特點,降低擁有者成本。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/110736.htm


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