彩色濾光片實現OLED彩色化的瑕疵分析*

　　實驗結果與討論

　　將RGB三色排列的矩陣基板和CF基板按照同樣生產流程進行清洗、光刻、刻蝕等光刻工藝，達到生產標準進入鍍膜工藝，對兩種類型的基板按照其相應生產工藝分別制作實現彩色化RGB三色排列的器件和白光器件，進行老化過程后再進行光電參數特性的比較。各器件鍍膜工藝如下，材料均為作為生產使用所購置的商品化量產材料。

　　RGB三色排列結構：HIL/NPB (25nm)/Red/Green/Blue/Alq3 (30nm)/LiF (1nm)/Al (150nm)。

　　白光+CF結構：HIL/NPB (25nm)/Blue/Orange/Alq3 (30nm)/LiF (1nm)/Al (150nm)。

　　光刻工藝為標準生產設備：清洗，涂膠，曝光，顯影，刻蝕，脫膜等工藝流程。并分別進行UV Ozone紫外臭氧處理;真空條件下RF plasma O2處理。有機材料蒸發速率為0.1~0.5nm/s不等，陰極蒸發速率為0.5nm/s;成膜真空度大約為8×10-5Pa。

　　將上述不同方式制作完成的OLED顯示器件進行光電性能參數的測試;同時對兩者的ITO基板和CF基板表面進行表面平整度的測試。然而在進行測試過程當中，發現在工作中的所有的白光+CF器件樣品表面都不同程度地出現了黑點，而且隨著點亮和存儲時間的增加，器件表面出現的黑點越來越多，也越來越大;從最初的小黑點缺陷到后來的黑洞直至占到整個發光像素一半以上的面積(圖3)。

　　對于出現這樣的缺陷或瑕疵(defect)，針對OLED的器件還沒有明確的標準來限定，而對于一般的顯示器件來說，例如液晶顯示器件，瑕疵的定義：“在工作或非工作的狀態下，有效屏幕上的缺陷即為屏幕瑕疵。”其中對瑕疵的大小長短等等都有明確的界定。當瑕疵達到一定程度，就可以認定其為不合格的產品，不能上市使用。因此在這里沿用LCD的檢驗標準，那么白光+CF的OLED器件是屬于不合格的產品。

　　而RGB三色排列的OLED器件經過點亮測試以及存儲的過程中，并沒有出現上述嚴重的黑點瑕疵。兩者基本的材料、制作工藝和制造設備都一樣，不同之處也只有兩處。