三星首次將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM生產(chǎn)
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據(jù)ZDnet報道，三星宣布，已成功將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM的生產(chǎn)中。
本文引用地址：http://www.104case.com/article/202003/411363.htm三星已經(jīng)出貨了100萬個使用EUV工藝制造的10nm級DDR4 DRAM模塊，并得到了客戶的評估。三星表示，評估工作完成后，將為明年大規(guī)模生產(chǎn)新的DRAM鋪平道路。
三星在平澤工廠的EUV專用V2生產(chǎn)線將于下半年開始生產(chǎn)DRAM模塊。該生產(chǎn)線預(yù)計將生產(chǎn)4代10nm級DDR5和LPDDR5。
這是平澤工廠除7nm邏輯芯片外又一使用EUV技術(shù)生產(chǎn)的芯片，三星稱，EUV技術(shù)將使其單個12英寸晶圓的生產(chǎn)效率提升一倍。
三星、英特爾和臺積電等全球半導(dǎo)體制造商預(yù)計都將擴(kuò)大EUV技術(shù)在芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。三星此前曾表示，計劃利用EUV技術(shù)生產(chǎn)3nm芯片。
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