北方華創(chuàng)有望搶占14nm工藝設(shè)備市場(chǎng)，6款12吋設(shè)備進(jìn)入客戶(hù)端

　　據(jù)SEMI China預(yù)計(jì)，2017 年全球半導(dǎo)體設(shè)備規(guī)模增長(zhǎng)19.8%達(dá)494 億美元，首次超過(guò)2000 年的477 億美元，并預(yù)測(cè)2018 年增長(zhǎng)至532億美元，屆時(shí)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備有望以110 億美元銷(xiāo)售額躍居第二，占據(jù)全球61.4%市場(chǎng)份額，形成以韓國(guó)、臺(tái)灣、中國(guó)為主的競(jìng)爭(zhēng)格局，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備呈現(xiàn)加速替代的趨勢(shì)。而作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的龍頭企業(yè)之一，北方華創(chuàng)正受益于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)快速發(fā)展。

　　近日，北方華創(chuàng)接受逾20家機(jī)構(gòu)投資者調(diào)研時(shí)表示，集成電路制造產(chǎn)線的投入主要由擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模決定，以12吋集成電路制造產(chǎn)線大致為月產(chǎn)1千片/1億美元為例，其中70%是設(shè)備投資，30%是基建投入。根據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，設(shè)備投資中刻蝕機(jī)占21%，CVD設(shè)備占15%，清洗設(shè)備占8%，PVD占5%，熱處理設(shè)備占3%。

　　北方華創(chuàng)稱(chēng)，目前已有多家集成電路制造廠商公布了擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，如中芯國(guó)際已公布上海月產(chǎn)7萬(wàn)片、深圳月產(chǎn)4萬(wàn)片、天津月產(chǎn)10萬(wàn)片等的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，長(zhǎng)江存儲(chǔ)公布了總計(jì)30萬(wàn)片的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，華力微電子也公布了月產(chǎn)4萬(wàn)片的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，未來(lái)公司將根據(jù)客戶(hù)的實(shí)際建設(shè)進(jìn)度，積極爭(zhēng)取相關(guān)設(shè)備訂單。

　　作為國(guó)家02 重大科技專(zhuān)項(xiàng)承擔(dān)單位，北方華創(chuàng)憑借深厚的技術(shù)積累與開(kāi)發(fā)填補(bǔ)了我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的多項(xiàng)空白，目前北方華創(chuàng)的12吋28nm制程的刻蝕機(jī)、PVD、立式氧化爐、清洗機(jī)、LPCVD等設(shè)備已處于產(chǎn)業(yè)化初期階段，相關(guān)產(chǎn)品已交付客戶(hù)，同時(shí)已有6款12吋14nm制程設(shè)備進(jìn)入客戶(hù)端開(kāi)展工藝研發(fā)，其主要客戶(hù)為中芯國(guó)際、武漢新芯、三安光電、華燦光電、京東方、樂(lè)葉光伏、晶澳太陽(yáng)能等。

　　北方華創(chuàng)表示，公司28nm Hardmask PVD、AI-Pad PVD設(shè)備率先打入國(guó)際供應(yīng)鏈，28nm PVD 已經(jīng)成為中芯國(guó)際的baseline 機(jī)臺(tái)，12 英寸清洗機(jī)累計(jì)流片量已突破60 萬(wàn)片，PVD 機(jī)臺(tái)已成為全球排名前三的CIS 封裝企業(yè)的首選機(jī)臺(tái)。在LED 領(lǐng)域，北方華創(chuàng)的氮化鎵刻蝕機(jī)、PSS 刻蝕機(jī)、AlN 緩沖層濺射設(shè)備、EPEE550 系列PECVD 等表現(xiàn)搶眼，訂單有了大幅度的增長(zhǎng)。

　　據(jù)了解，北方華創(chuàng)生產(chǎn)的刻蝕設(shè)備、PVD、LPCVD、氧化爐等已經(jīng)成功進(jìn)入中芯國(guó)際12寸生產(chǎn)線，清洗機(jī)和傳送設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入京東方8.5代線。此外，北方華創(chuàng)已有6款14nm工藝設(shè)備交付客戶(hù)驗(yàn)證，有望搶占14nm工藝設(shè)備市場(chǎng)。值得提及的是，今年北方華創(chuàng)硅單晶爐設(shè)備累計(jì)獲得訂單及中標(biāo)金額逾10 億元，并首次進(jìn)入臺(tái)灣市場(chǎng)，新型號(hào)真空釬焊爐實(shí)現(xiàn)了對(duì)歐盟出口。