北京亦莊集成電路干了什么？居然讓世界矚目

　　導語

　　那你可知道，集成電路的技術水平和發展規模是衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一，芯片的研發與生產能力，是衡量一個地區創新實力的重要指標?

　　恰恰，這就是北京亦莊的專長，2012年，從開發區促成中芯北京二期項目啟動，五年過去，北京亦莊集成電路產業規模占北京的1/2、全國的1/10，儼然成為國內重要的集成電路產業基地。

　　年初，IC設計龍頭企業集創北方總部進駐開發區， 本月初，位于路東區的華卓精科亦莊園區奠基，被譽為精密制造業皇冠明珠的光刻機工件臺在開發區產業化，這也意味著開發區以系統應用為拉動、設計為龍頭、制造為重點、設備為突破的集成電路產業戰略正穩步實施。

　　預計到2020年，開發區集成電路產業銷售收入規模將達到1000億，到2025年，開發區將成為全球領先的，先進新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領域的研發制造中心，成為中國集成電路產業的核心區與承載地，為建設“中國制造2025示范區”，構建高精尖經濟結構，注入“芯”活力。

　　從龍頭企業看集成電路產業發展

　　中芯國際

　　一點一滴匯集騰飛新起點

　　中芯北方從無到有、中芯北京從實現盈利到持續盈利、制造技術從65納米到28納米、國產設備從初次驗證到加工晶圓產品突破一千萬片次……2012年到2017年的中芯國際北京廠，經歷了太多變化，也收獲了無數驚喜。這一切看上去是那么的不可思議，可一樁樁一件件，已經在發展中迅速壯大的中芯國際一一實現。

　　過去的5年，中芯國際北京廠像鳳凰一樣涅槃重生。而驅動這股龐大力量讓公司高速發展的，正是員工們一絲不茍的匠人精神和夜以繼日的辛勤汗水。

　　未來，它還將成為我國最重要的集成電路制造基地之一，成為助力開發區打造電子信息產業集群、發揮平臺作用帶動集成電路上下游全產業鏈發展的高地。

　　01

　　發展壯大

　　中芯北方從無到有迅速發力

　　2012年，全球半導體產業在經歷了金融危機的洗禮后，開始逐步回暖，中芯國際也是一樣，在新的管理團隊的帶領下，正在逐步步入良性發展的軌道。

　　2012年，為了滿足不斷增長的市場需要，提高規模生產效益，提升技術水平，同時更好地服務于本土設計企業，為國內的半導體裝備、材料及工藝開發商提供先進的支撐平臺，中芯國際與北京市共同出資建設了中芯國際北京二期項目，也就是中芯北方項目。中芯國際副總裁、中芯北方總經理張昕告訴記者，“如果說中芯北方的建設是中芯國際發展到一定階段的產物，那它的迅速落地同時得益于北京市及開發區領導的高瞻遠矚以及對今天集成電路產業發展的預判?！?/p>

　　從2012年5月15日中芯國際與北京市經濟和信息化委員會、北京經濟技術開發區管理委員會共同簽署合作框架文件，以合資的方式建設中芯北京二期項目(中芯北方);到2013年7月12日，中芯北方注冊成立;到2015年5月15日，中芯北方項目第一階段(B2A項目)廠房潔凈室裝修完成，開始設備裝機并量產;再到2015年10月29日，中芯北方項目第二階段(B2B項目)廠房項目啟動奠基;直到2016年年底，B2A項目實現月產能1.8萬片……中芯北方經歷了一個從無到有的過程，而整個中芯國際，無論是從業績上、產品結構上、還是國產化方面，也都經歷了天翻地覆的變化。

　　“中芯北方的成立，可謂是公司在天時、地利、人和都具備的良好條件下，各方共同努力地結果。有幸參與到這個項目的建設和推動中，對于我個人來說，也是一次考驗和成長。盡管知道前路崎嶇，但是我和我的伙伴們始終有信心，我們堅信我們一定能夠做到，而且能夠做好?！睆堦扛锌卣f。

　　據介紹，中芯北方項目建成達產后，將與中芯北京一期項目一起，形成近12萬片/月的巨大產能，成為我國最重要的集成電路制造基地之一;并為國家科技重大專項在極大規模集成電路制造工藝、關鍵設備和材料等方面的研究成果提供先進驗證及測試平臺，為專項成果實現產業化提供重要支撐;同時也將助力開發區打造電子信息產業集群，形成有一定國際影響力的集成電路產業基地。

　　2.齊心協力

　　實現連續20個季度盈利

　　“現在，中芯北方的兩個廠房B2A和B2B都已建設完成，其中B2A已實現量產，產能業突破2萬片?！睆堦颗d奮地說，“未來，中芯北方將根據市場情況繼續按規劃擴充產能。預計全部達產后，中芯北方與中芯北京的單體制造規?？膳c國際接軌，中芯北方及中芯北京也將有望成為國內最重要的集成電路制造基地之一。”

　　據介紹，2012年至2017年的五年間，中芯國際北京公司自單季度營業收入從不到7億元增長超過35億元，增長了5倍之多;并且企業自2012年第二季度實現盈利以來，已實現連續20個季度盈利;12英寸晶圓月產能達至7萬片，增長了2倍多。

　　“現在回想這幾年的發展歷程，2011年底到2012年初那段時間應該是我們最辛苦也最不辭辛苦的一段時間了。那時候我們每天都要加班很晚，就為了能讓我們的業績‘好看’一點?！睆堦扛嬖V記者，“為了使公司實現盈利，中芯國際開展了精益化生產，大到機器設備的個性化使用，小到每一滴水、每一度電都精打細算。加之我們前10年的精耕細作，才使得中芯國際在2012年第二季度開始真正實現盈利，并一發不可收拾?！?/p>

　　3

　　夙興夜寐

　　建成12英寸28納米電路生產線

　　2014年 1月26日，中芯國際宣布正式進入28納米工藝時代。28納米工藝擁有來自中芯國際設計服務團隊以及多家第三方IP 合作伙伴的100多項IP，可為全球集成電路(IC)設計商提供包含28納米多晶硅(PolySiON)和28納米高介電常數金屬閘極(HKMG)在內的多項目晶圓(MPW)服務。這是中芯國際發展歷程中的重要里程碑，標志著中芯國際生產及研發能力的極大提升。進入28納米工藝時代，夯實了公司在移動計算相關IC制造領域中的有利地位。

　　緊接著，同年7月，高通與中芯國際達成合作，高通將部分28納米芯片交予中芯國際代工。時隔六個月，中芯國際和高通日前共同宣布，雙方合作的28nm高通驍龍410處理器已經制造成功，這標志著雙方在先進工藝制程和晶圓制造合作上取得巨大進展。

　　同時，中芯國際也借此成為中國內地第一家在28納米工藝上生產“高性能、低功耗”手機處理器的晶圓代工企業，并為28納米的量產奠定了堅實的基礎。這一進展標志著中芯國際在28納米工藝成熟的路徑上邁出重要一步，也讓中芯國際信心十足。至此，中芯國際28納米工藝已經走向成熟，并可以為包括高通在內的全球客戶提供技術支持。

　　據悉，28納米工藝制程主要應用于智能手機、平板電腦、機頂盒和互聯網等移動計算及消費電子產品領域，可為客戶提供高性能應用處理器、移動基帶及無線互聯芯片。

　　“其實不管是中芯北方的一點點建成，還是我們28納米的量產，都離不開我們全體同仁的共同努力?！睆堦扛卸鞯卣f。目前中芯國際已構建了較為完整的制造平臺，包括28納米、40納米、55納米、65納米先進邏輯技術等產品線。其中，中芯北方28納米技術產品于2015年開始量產，并成為中國北方首家實現這一技術結點量產的集成電路制造企業。40納米及28納米的量產也使得中芯國際北京公司成為中國北方技術能力最全，規模最大的12英寸集成電路生產線。

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　　備受鼓舞

　　國產設備加工產品突破千萬次

　　中芯國際集成電路制造有限公司是世界領先的集成電路晶圓代工企業之一，同時也是中國內地規模最大、技術最先進的集成電路晶圓制造企業，始終肩負著引領中國半導體產業發展的重任。而中芯國際在自身發展的同時，始終致力于全力支持提升與強化屬地化的半導體產業鏈生態系統。

　　多年來，中芯國際持續與國產設備廠商展開合作，致力于提升國產份額。在國產設備方面，已覆蓋從35微米到28納米所有制程，12英寸廠已經成功驗證10個設備種類，未來還將繼續拓展，2010~2015 年總采購金額已突破1億美元;在國產材料方面，目前在8英寸和12英寸廠都有驗證成功并上線使用，截至目前，60個國產材料已經被成功驗證并使用。

　　中芯國際北京廠是目前中芯國際規模最大的12寸晶圓廠，也是中國大陸第一條12英寸集成電路生產線。截至2016年11月7日，該廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工次數已突破一千萬片次，這標志著國產設備在大生產中的充分驗證和市場化，國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

　　時間回到2010年3月，由北方微電子研制的干法刻蝕機搬進了中芯國際北京廠，進行功能測試。接著，由七星華創研制的立式氧化爐和中科信研制的中束流離子注入機也陸續搬入。

　　經過工廠以及國產設備供應商幾年的不懈努力，2013年，北京廠的各型國產設備終于完成了全面的驗證。當時正趕上中芯北方工廠擴建和產品更新，既要萬無一失的滿足市場的出片要求，又要按時保量地完成國產設備的推進，中芯國際北京廠所有員工的工作強度和心理壓力都非常大，但大家勇挑這副重擔。為了高效率正規化地推進，中芯國際北京廠先后成立《國產設備委員會》，《國產材料委員會》，以及《國產零部件委員會》，統籌國產裝備，材料，以及零部件的驗證和采購工作。

　　2014年，中芯國際北京廠進入生產設備的中試階段。由于生產的晶圓就是交給市場的集成電路芯片，將裝載在成百上千萬部手機、電視、攝像監控器、機頂盒、路由器等電子系統上，影響著客戶的體驗和中芯國際的名譽，工廠投入了巨大的資源與國產設備企業一起進行攻關，協同解決問題，縮小與世界先進水平的差距。共召開會議2500多次，軟硬件改善1300多次，工藝流程改善方案158次，申請專利700多項……我國的設備企業通過在北京大生產線上進行驗證，其量產技術與服務保障逐步達到國際水平，為其進一步開拓國際市場打下了堅實的基礎。

　　2015年，中芯國際北京廠國產化生產設備進入了晶圓產品量產階段，新增國產設備主機臺及附屬機臺數百臺，包括中微電子的干法刻蝕機;北方微電子的物理氣相淀積設備、干法刻蝕機、及單片退火爐設備;七星華創的單片清洗機和立式氧化爐設備;中科信的中束流離子注入機設備;沈陽拓荊的化學氣相淀積設備;京儀自動化的分片機設備;北京屹唐瑪特森的刻蝕機設備;華海清科的化學機械研磨設備;以及沈陽科儀的中控泵等。這些國產設備出色地通過了90納米-28納米技術節點的大生產線驗證，與進口設備肩并肩滿負荷生產。

　　中芯國際北京廠在國產設備及材料應用方面取得的階段性進展，是中芯國際集團公司對國內集成電路產業鏈企業支持的一個縮影。未來，中芯國際將持續努力，為打造中國集成電路產業生態鏈建設，進而為中國半導體產業發展做出貢獻。