“合肥造”光刻設備將打破國外壟斷

　　中國芯片制造業高端裝備一直以來依賴國外進口，尤其是高端光刻設備受到西方封鎖，有錢也買不到，或是毫無競價權，國內進口集成電路裝備采購每年達數十億美元。在高新區的合肥芯碁微電子裝備有限公司，正在通過自主創新，改變這種現況。

　　據介紹，合肥芯碁微電子裝備有限公司主要經營微電子高端裝備研發、制造、技術服務。公司技術團隊是以曾承接國家02重大科技專項《130—65nm制版光刻設備及產業化》項目核心人員為基礎，結合國內外業界精英組成，60%以上碩博士。團隊骨干均為國內首創激光直寫光刻設備、激光曝光設備的核心骨干成員。

　　“有別于傳統的創新，我們是完全自主知識產權，用在集成電路制造領域的核心裝備，目標是取代進口。”合肥芯碁微電子裝備有限公司相關負責人介紹說，即將投產的激光直寫光刻機、雙臺面激光曝光機，均為進口替代產品。

　　其中，該公司的MLL及LDW系列光刻設備是國內目前唯一可以替代進口的半導體光刻設備，已有38所、771所、中科大微納米中心、11所、13所、半導體所、華中科大等客戶購買使用。需求逐步增長，現在每年約30臺套。LDI激光曝光機系列是國內目前與以色列奧寶(壟斷全球75%市場在中國去年銷售臺220臺)直接競爭的產品。QS系列檢測設備，現有客戶中芯國際、13所、43所、西南所等，計劃項目投產后第二年銷售合計20臺，銷售收入約3000萬元。

　　此外，集成電路產業是國家重點支持和發展的戰略性產業，高端裝備制造業更是工業4.0及中國制造2025發展重點趨勢，芯碁微電子裝備正是為集成電路產業提供自主高端裝備的高科技企業，是各級政府重點支持的新興產業。

　　合肥芯碁微電子裝備有限公司相關負責人認為，核心高端裝備業的進口制約導致我國集成電路產業和國防軍工產業面臨巨大的戰略安全威脅。芯碁微電子裝備正是以保障國家經濟與產業安全為己任，志存高遠，力爭盡快成長為中國微電子裝備業的領導企業。