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        將二極管邊緣終端的長度縮短至1/5以下

        作者: 時間:2016-06-21 來源:技術(shù)在線 收藏

          富士電機與香港科技大學組成的研究小組在“ISPSD 2016”上發(fā)布了可縮小的邊緣終端(Eedge Termination)區(qū)域的新技術(shù)。與以往設(shè)置保護環(huán)的邊緣終端相比,該技術(shù)可使邊緣終端的長度縮短至1/5以下。

        本文引用地址:http://www.104case.com/article/201606/292877.htm

          隨著不斷實現(xiàn)微細化,作為元件發(fā)揮作用的主動區(qū)域越來越小,邊緣終端在中所占的比例則越來越大。尤其是輸出電流較小的二極管,邊緣終端所占的比例更大。在用于白色家電等的耐壓600V的5A二極管中,邊緣終端的長度約為350μm,在整個面積中所占的比例達到了約55%。因此,該研究小組開始研究如何縮小邊緣終端。

          此次采用了在二極管表面挖掘溝槽,然后用“BCB(苯并環(huán)丁烯)”等填充溝槽的結(jié)構(gòu)。在主動區(qū)域為0.55mm2(相當于2A)的情況下,采用該結(jié)構(gòu)設(shè)置邊緣終端,僅以35μm的長度就獲得了755V的耐壓特性。據(jù)介紹,這一數(shù)值還不到以往采用保護環(huán)方式的邊緣終端的1/5。



        關(guān)鍵詞: 二極管 芯片

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