沈陽IC裝備企業斬獲國家重大專項資金6.95億元

　　記者從沈陽市有關部門了解到，由沈陽富創精密設備有限公司承擔的“十二五”國家科技重大專項“IC設備關鍵零 部件集成制造技術與加工平臺”3月26日順利通過國家02專項辦驗收。而渾南區已有新松機器人、芯源微電子、拓荊科技、富創精密等6家企業承擔了14項國 家02科技重大專項，累計獲得國家資金支持6.95億元，在政策支持下已形成相對完整的IC裝備制造體系。

　　IC裝備被譽為裝備制造業的“珠穆 朗瑪”，是芯片產業的基礎設備，已成為先進裝備制造業競爭的焦點。沈陽富創“IC(集成電路)設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”是圍繞高效精密加 工、表面處理、真空電子束焊等多個課題，突破了一系列技術關口，目前已建設成集精密機械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設備精密零部件綜合服務 平臺，形成了達到國際水準的金屬零部件表面處理及清洗試驗線，通過了多項國際先進的表面處理制程認證以及世界IC設備整機龍頭企業美國應用材料公司、日本 東京電子公司40余項認證，富創精密已成為其全球戰略供應商。

　　沈陽市經信委表示，沈陽市多家企業能夠躋身國家重大專項資金支持，表明沈陽IC 裝備制造企業在科技創新方面不斷取得新的進展，日益集聚老工業基地振興發展的新動能。沈陽富創“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”項目打破了該 領域核心零部件長期依賴國外進口的被動局面，填補了國內空白，還對提高我國IC裝備制造產業鏈的整體競爭力具有促進作用。

　　讀報名詞

　　02專項：即《極大規模集成電路制造技術及成套工藝》項目，因次序排在國家所列16個重大專項的第二位，在行業內被稱為“02專項”。