微型傳感器在汽車電子化、智能化工程中的應用

1．微加速度傳感器

目前，安全氣囊是而且將來也是MEMS技術的一個主要應用。所用的硅加速度計的量程一般為50gn。較早的如像摩托羅拉公司用體微細加工技術制作的硅加速度傳感器。

瑞典Henrik等人報道了一種新型的硅微三軸加速度計，其外形結構參數為6mm×4mm×l.4mm，它有4個敏感質量塊，4個獨立的信號讀出電極和4個參考電極。它巧妙地利用了敏感梁在其厚度方向具有非常小的剛度而能夠敏感加速度，在其他方向剛度相對很大而不能敏感加速度的結構特征。在加速度計的橫截面上，由于各向異性腐蝕的結果，敏感梁的厚度方向與加速度計的法線方向（z軸）成35.26°（tan35.26°＝0.707）。

2．表面微機械陀螺

傳統的陀螺儀是由高速旋轉的轉子、內環、外環和基座組成，這種陀螺儀的內外環通常是用滾珠軸承支撐，這些通常是用機械加工方法制成，需要加工精度高、難度大、而且，做成的陀螺儀體積大、質量重。微機械陀螺是具有復雜的檢測與控制電路的MEMS裝置。SaidEmreA1per等人報道了一種結構對稱，并具有解耦特性的表面微機械陀螺。該敏感結構在其最外邊的4個角都設置了支承“錨”，與傳統的直接支承在“錨”上的實現方式不同，它利用一種對稱結構敏感質量塊支承在連接梁上，并通過梁將驅動電極和敏感電極有機地連接在一起。用微器件仿真軟件包（MEMCAD）仿真分析后可知，兩個方向上的振動相互不影響，所以，這樣的連接方式不用考慮機械耦合。

該微機械陀螺的平面外輪廓的結構參數為1mm2，厚度僅為2μm。其工作原理是：當在敏感質量塊上施加一直流偏置電壓，在活動叉指和固定叉指間施加適當的交流激勵電壓時，敏感質量塊將在y軸方向上產生固有振動。當陀螺感受到繞z軸的角速度時，由于科氏效應，敏感質量塊將產生沿x軸的附加振動。通過測量附加振動的振動幅值就可以得到被測的角速度。在常規的大氣情況下，該敏感結構具有優于0.37°/s的分辨力。

（三）車輛監控和自診斷用傳感器

在車輛監控和自診斷方面，MEMS技術的一個主要應用將是輪胎壓力監測；其次是應用于冷卻、剎車等系統的傳感器。此外，還有如像在亮度控制系統中使用光傳感器；在電子駕駛系統中使用磁傳感器、氣流速度傳感器；在自動空調系統中使用室內溫度傳感器、吸氣溫度傳感器、風量傳感器、日照傳感器、濕度傳感器；在導向行駛系統中使用方位傳感器、車速傳感器等。

（四）高溫微電子在汽車中的應用

高溫微電子在汽車發動機控制、氣缸和排氣管、電子懸架和剎車、動力管理及分配等方面的監控中都起著非常重要的作用。例如：用于發動機控制的高溫微電子傳感器和控制器將有助于燃燒的更好監測和控制，它將使燃燒的更加徹底，提高燃燒效率。
但是，用傳統的硅半導體技術制作的微電子器件由于不能在很高的溫度下工作，已不能勝任。為了解決在高溫環境下溫度測量問題，必須研制一種新的材料來取代傳統的半導體材料。第三代寬能帶半導體材料Sic具有高擊穿電場、高飽和電子漂移速率、高熱導率及抗輻照能力強等一系列優點，特別適合制作高溫、高壓、高功率、耐輻照等半導體器件。集成的sic傳感器可以直接與高溫油箱和排氣管接觸，這樣，能進一步獲得有關燃料燃燒效率和減少廢氣排放的更多信息。研究表明：一旦sic半導體技術能解決好材料、封裝等技術而得到進一步的發展，SIC功率器件的工作范圍將超過傳統的硅功率器件，而且，其體積比Si功率器件也要小。

四、結束語

由于汽車傳感器在汽車電子控制系統中的重要作用和快速增長的市場需求，世界各國對其理論研究、新材料應用和新產品開發都非常重視。未來的汽車用傳感器技術，總的發展趨勢是微型化、多功能化、集成化和智能化。

基于MEMS技術的微型傳感器在降低汽車電子系統成本及提高其性能方面的優勢，它們已開始逐步取代基于傳統機電技術的傳感器。隨著納米技術的進步，體積更小、造價更低、功能更強的微型傳感器將廣泛應用在汽車的各個方面。在未來幾年內，包括發動機運行管理、廢氣與空氣質量控制、剎車防抱死系統、車輛動力學控制、自適應導航、車輛行駛安全系統在內的應用將為MEMS技術提供廣闊的市場。