Metryx和Intel合作開發20納米節點半導體工藝

　　英國質量計量設備廠商Metryx日前正式加入一項由歐洲廠商主導的半導體設備創新發展評估項目，在此合作框架下，Metryx將和Intel，IMEC等展開深入合作，為20納米節點半導體工藝開發提供高精度質量計量技術和設備。高精度質量計量技術用于監控淀積工藝和其它引起質量細微變化的工藝步驟，也可以用來監控由于高參雜注入導致光刻膠剝落而引起的硅損耗、襯底損壞等問題。