北方微電子等離子刻蝕系統中標兩項目

　　近日，北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司佳音頻傳，繼高密度等離子刻蝕機中標國家集成電路先導工藝研發項目后，ELEDE 330高密度等離子ICP刻蝕機中標上海藍光LED項目。ELEDE 330由北方微電子自主研制生產，是我國首臺直接面向LED大生產線的ICP刻蝕系統，實現了北方微電子半導體刻蝕技術在LED領域的成功擴展。此次中標，標志著北方微電子LED刻蝕設備獲得市場主流生產線的充分肯定，使我國高端LED設備的國產化水平得到了新的提升。

　　上海藍光科技有限公司是中央企業彩虹集團控股的全國首家從事氮化鎵基LED外延片及芯片產業化生產的企業，是國家“863”計劃光電子領域成果轉化基地，是國家發展與改革委員會確定的新材料專項產業化示范工程項目。