北方微電子三種高端設備亮相SEMICON

　　為了應對市場變化，北方微電子在集成電路設備研發(fā)的基礎上加大了太陽能電池領域高端設備的研發(fā)投入，開發(fā)出集成電路12英寸65納米硅刻蝕機、晶硅太陽能電池PECVD設備和薄膜太陽能電池PVD設備，三種高端設備將在本次展會上同時亮相。

　　北方微電子新研制的1 2 英寸NMC612A等離子刻蝕機，在滿足用戶對65納米多種硅刻蝕工藝需求的同北方微電子三種高端設備亮相SEMICON時，強調大工藝窗口，小占地空間，低耗材價格，高智能軟件等幾大優(yōu)勢，同時還注重45納米的工藝延伸能力。經(jīng)過一年的生產(chǎn)線驗證，已經(jīng)得到了生產(chǎn)線的較高評價。

　　針對綠色能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，北方微電子快速響應市場需求，開發(fā)完成了新型晶硅太陽能電池設備ESSINDTM平板式PECVD系統(tǒng)。該設備用于晶硅太陽能電池的減反射和鈍化工藝的氮化硅薄膜沉積，是國產(chǎn)先進的大產(chǎn)能平板式設備。

　　同時，北方微電子非常重視薄膜太陽能領域的發(fā)展，通過與國外公司技術合作，成功開發(fā)出ROCSTM1500太陽能平板式PVD設備，主要應用于5代薄膜太陽能電池面板的金屬化、TCO透明電極制備和窗口層/吸收層制備工藝，該設備在晶硅太陽能和TFT等領域也有廣泛的應用前景。